[发明专利]一种条痕状形貌表征参数的测量方法及装置

说明书

本申请公开了一种条痕状形貌表征参数的测量方法，用于对深孔蚀刻中条痕状形貌的严重程度进行量化测量，该方法包括：获取电子扫描显微镜输出的孔剖面图像，识别孔剖面图像中孔的中心点坐标；获取经过中心点坐标的n条直径的长度值，n为大于1的整数；计算n条直径的长度值的方差，将方差作为该孔的条痕状形貌表征参数。本申请还公开了一种条痕状形貌表征参数的测量装置。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，具体涉及一种条痕状形貌表征参数的测量方法及装置。

背景技术

在加工特定的电学器件时会采用深孔蚀刻工艺，在深孔蚀刻工艺中，蚀刻出的深孔轮廓有可能出现条痕状形貌(Striation)。条痕状形貌的表现形式是：参见图1所示，深孔在纵向切面上表现为竖直条痕状；参见图2所示，深孔在横向剖面中孔边缘表现为锯齿状。深孔的条痕状形貌会对后续孔内填充工艺造成不利影响，影响器件的电学性能。

在现有技术中可以通过扫描电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)对深孔的纵向切面以及横向剖面进行观察，定性表征条痕状形貌的严重程度。但是在条痕状形貌差异较小时，人工观察很难分辨出差异度。因此在现有技术中无法量化分析条痕状形貌的严重程度。

发明内容

有鉴于此，本申请提供一种条痕状形貌表征参数的测量方法及装置，以解决现有技术中无法量化分析条痕状形貌的严重程度的技术问题。

为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：

一种条痕状形貌表征参数的测量方法，所述方法包括：

获取电子扫描显微镜输出的孔剖面图像，识别所述孔剖面图像中孔的中心点坐标；

获取经过所述中心点坐标的n条直径的长度值，n为大于1的整数；

计算所述n条直径的长度值的方差，将所述方差作为该孔的条痕状形貌表征参数。

可选的，所述方法还包括：

从所述n条直径的长度值中确定直径最大值以及直径最小值；

计算所述直径最小值除以所述直径最大值作为第一计算结果；

计算所述方差乘以所述第一计算结果再乘以预设值作为第二计算结果，将所述第二计算结果作为该孔的条痕状形貌表征参数。

可选的，所述方法还包括：

计算所述孔剖面图像中各个孔的条痕状形貌表征参数的平均值，作为所述孔剖面图像对应的条痕状形貌表征参数输出结果。

可选的，所述识别所述孔剖面图像中孔的中心坐标，包括：

提取所述孔剖面图像中孔的边界，获得所述孔剖面图像中孔的边界点坐标；

利用该孔的边界点坐标计算获得该孔的中心点坐标。

可选的，所述获取经过所述中心点坐标的n条直径的长度值，包括：

获取经过所述中心点坐标的n条直径与所述边界的交点坐标；

利用每条直径与所述边界的交点坐标计算获得经过所述中心点坐标的n条直径的长度值。

一种条痕状形貌表征参数的测量装置，所述装置包括：

第一获取单元，用于获取电子扫描显微镜输出的孔剖面图像；

识别单元，用于识别所述孔剖面图像中孔的中心点坐标；

第二获取单元，用于获取经过所述中心点坐标的n条直径的长度值，n为大于1的整数；

第一计算单元，用于计算所述n条直径的长度值的方差，将所述方差作为该孔的条痕状形貌表征参数。