[发明专利]一种增强清洗效果的沉积系统及方法

摘要

本发明公开了一种增强清洗效果的沉积系统及方法，沉积系统包括：反应腔室，内设有基座，基座上方设有喷淋头，喷淋头周围通过绝缘环与腔室上盖相连，喷淋头上方覆盖有绝缘板，基座周围设有约束环，约束环以内、喷淋头和基座之间空间区域为反应区域，约束环和腔室内壁之间空间区域为非反应区域；初级清扫通道，用于对反应区域通入清扫气体进行清扫；次级清扫通道，用于对非反应区域通入清扫气体进行清扫。本发明能够增加对非反应区域的清扫程度，减少副反应生成物在非反应区域壁上的沉积，并阻挡微粒在腔室上盖与绝缘环之间的间隙内积累形成微粒源，从而能保证工艺性能的稳定性，提高等离子体源对死区的清洗效果。

主权项

1.一种增强清洗效果的沉积系统，其特征在于，包括：反应腔室，内设有基座，所述基座上方设有喷淋头，所述喷淋头周围通过绝缘环与腔室上盖相连，所述喷淋头上方覆盖有绝缘板，所述基座周围设有约束环，所述约束环以内、所述喷淋头和所述基座之间空间区域为反应区域，所述约束环和腔室内壁之间空间区域为非反应区域；初级清扫通道，用于对所述反应区域通入清扫气体进行清扫；次级清扫通道，用于对所述非反应区域通入清扫气体进行清扫。