[发明专利]测量图形化基板的3D显微镜和方法在审
| 申请号： | 201710590606.9 | 申请日： | 2011-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107229116A | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 侯震;J·J·徐;K·K·李;J·N·斯坦顿;H·P·源;R·库迪纳;R·索塔曼 | 申请（专利权）人： | 泽伊塔仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/36 | 分类号： | G02B21/36;G01N21/956 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 测量图形化基板的3D显微镜和方法。用于图形化基板测量的三维(3D)显微镜可包括物镜、反射照明器、透射照明器、调焦设备、光学传感器、以及处理器。调焦设备可分多个Z步进对物镜自动调焦。光学传感器能够在这些Z步进中的每一步进采集图像。处理器可控制反射照明器、透射照明器、调焦设备、以及光学传感器。处理器可被配置成在多个Z步进采集第一和第二图像，该第一图像具有使用反射照明器的图案而该第二图像不具有使用反射照明器和透射照明器之一的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 图形 化基板 显微镜 方法 | ||
【主权项】：
一种用于图形化基板测量的3D显微镜，所述3D显微镜包括：物镜；反射照明器，所述反射照明器被配置成向包括图形化基板的样品提供反射光，并且将图案化制品的图像投影到所述物镜的焦平面上且从所述焦平面移除所述图案化制品的图像；透射照明器，所述透射照明器被配置成向所述样品提供透射照明；用于分多个Z步进对物镜自动调焦的调焦设备；能够在每一Z步进采集图像的光学传感器；以及用于控制所述反射照明器、所述透射照明器、所述调焦设备、以及所述光学传感器的处理器，所述处理器被配置成在多个Z步进采集第一和第二图像，所述第一图像具有使用所述反射照明器的图案而所述第二图像不具有使用所述反射照明器和所述透射照明器之一的图案。
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