[发明专利]一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置在审

专利信息
申请号: 201710583935.0 申请日: 2017-07-18
公开(公告)号: CN109273381A 公开(公告)日: 2019-01-25
发明(设计)人: 周杰海 申请(专利权)人: 东莞市鸿村环保设备制造有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 代理人: 王程远
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置,包括底板、输液管、废液箱、鼓风电机、鼓风管、蚀刻液箱、滑轨、伸缩杆、喷淋头、吸液软管、吸液球、输液电机、盛液箱、清洗箱、固定夹、安装支架和滑板,所述废液箱、蚀刻液箱、盛液箱和清洗箱固定在底板上,所述安装支架固定在底板上,所述滑轨横向固定在安装支架上,所述滑板滑动设置在滑轨上,所述伸缩杆固定在所述滑板的底部,所述固定夹固定在伸缩杆的底端,所述盛液箱位于安装支架的下方并通过输液管与废液箱连通。本发明设计结构简单,构造巧妙合理,能够有效的对玻璃进行蚀刻,同时利用机械臂夹取,有效的降低了人工的劳动强度,具有很好的推广价值。
搜索关键词: 安装支架 底板 废液箱 盛液箱 滑板 滑轨 玻璃基板 蚀刻装置 风干 固定夹 清洗箱 伸缩杆 蚀刻液 输液管 清洗 鼓风管 电机 蚀刻 伸缩杆固定 横向固定 滑动设置 设计结构 吸液软管 机械臂 喷淋头 人工的 吸液球 底端 鼓风 夹取 连通 输液 玻璃
【主权项】:
1.一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置,包括底板(1)、输液管(2)、废液箱(3)、鼓风电机(4)、鼓风管(5)、蚀刻液箱(7)、滑轨(8)、伸缩杆(9)、喷淋头(10)、吸液软管(12)、吸液球(13)、输液电机(14)、盛液箱(15)、清洗箱(15)、固定夹(19)、安装支架(20)和滑板(21),其特征在于:所述废液箱(3)、蚀刻液箱(7)、盛液箱(15)和清洗箱(15)固定在底板(1)上,所述安装支架(20)固定在底板(1)上,所述滑轨(8)横向固定在安装支架(20)上,所述滑板(21)滑动设置在滑轨(8)上,所述伸缩杆(9)固定在所述滑板(21)的底部,所述固定夹(19)固定在伸缩杆(9)的底端,所述盛液箱(15)位于安装支架(20)的下方并通过输液管(2)与废液箱(3)连通,所述输液管(2)上设有输液泵,所述输液电机固定在底板上并与输液泵传动连接,所述吸液球(13)置于蚀刻液箱(7)内,所述喷淋头(10)置于蚀刻液箱(7)内并通过吸液软管(12)与吸液球(13)连通,所述喷淋头(10)表面设置有喷孔(18),所述鼓风电机(4)固定在底板上(1),所述鼓风管(5)与鼓风电机(4)连通。
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