[发明专利]一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置在审
申请号: | 201710583935.0 | 申请日: | 2017-07-18 |
公开(公告)号: | CN109273381A | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 周杰海 | 申请(专利权)人: | 东莞市鸿村环保设备制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人: | 王程远 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置,包括底板、输液管、废液箱、鼓风电机、鼓风管、蚀刻液箱、滑轨、伸缩杆、喷淋头、吸液软管、吸液球、输液电机、盛液箱、清洗箱、固定夹、安装支架和滑板,所述废液箱、蚀刻液箱、盛液箱和清洗箱固定在底板上,所述安装支架固定在底板上,所述滑轨横向固定在安装支架上,所述滑板滑动设置在滑轨上,所述伸缩杆固定在所述滑板的底部,所述固定夹固定在伸缩杆的底端,所述盛液箱位于安装支架的下方并通过输液管与废液箱连通。本发明设计结构简单,构造巧妙合理,能够有效的对玻璃进行蚀刻,同时利用机械臂夹取,有效的降低了人工的劳动强度,具有很好的推广价值。 | ||
搜索关键词: | 安装支架 底板 废液箱 盛液箱 滑板 滑轨 玻璃基板 蚀刻装置 风干 固定夹 清洗箱 伸缩杆 蚀刻液 输液管 清洗 鼓风管 电机 蚀刻 伸缩杆固定 横向固定 滑动设置 设计结构 吸液软管 机械臂 喷淋头 人工的 吸液球 底端 鼓风 夹取 连通 输液 玻璃 | ||
【主权项】:
1.一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置,包括底板(1)、输液管(2)、废液箱(3)、鼓风电机(4)、鼓风管(5)、蚀刻液箱(7)、滑轨(8)、伸缩杆(9)、喷淋头(10)、吸液软管(12)、吸液球(13)、输液电机(14)、盛液箱(15)、清洗箱(15)、固定夹(19)、安装支架(20)和滑板(21),其特征在于:所述废液箱(3)、蚀刻液箱(7)、盛液箱(15)和清洗箱(15)固定在底板(1)上,所述安装支架(20)固定在底板(1)上,所述滑轨(8)横向固定在安装支架(20)上,所述滑板(21)滑动设置在滑轨(8)上,所述伸缩杆(9)固定在所述滑板(21)的底部,所述固定夹(19)固定在伸缩杆(9)的底端,所述盛液箱(15)位于安装支架(20)的下方并通过输液管(2)与废液箱(3)连通,所述输液管(2)上设有输液泵,所述输液电机固定在底板上并与输液泵传动连接,所述吸液球(13)置于蚀刻液箱(7)内,所述喷淋头(10)置于蚀刻液箱(7)内并通过吸液软管(12)与吸液球(13)连通,所述喷淋头(10)表面设置有喷孔(18),所述鼓风电机(4)固定在底板上(1),所述鼓风管(5)与鼓风电机(4)连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造