[发明专利]一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置在审

专利信息
申请号: 201710583935.0 申请日: 2017-07-18
公开(公告)号: CN109273381A 公开(公告)日: 2019-01-25
发明(设计)人: 周杰海 申请(专利权)人: 东莞市鸿村环保设备制造有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 代理人: 王程远
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 安装支架 底板 废液箱 盛液箱 滑板 滑轨 玻璃基板 蚀刻装置 风干 固定夹 清洗箱 伸缩杆 蚀刻液 输液管 清洗 鼓风管 电机 蚀刻 伸缩杆固定 横向固定 滑动设置 设计结构 吸液软管 机械臂 喷淋头 人工的 吸液球 底端 鼓风 夹取 连通 输液 玻璃
【说明书】:

发明公开了一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置,包括底板、输液管、废液箱、鼓风电机、鼓风管、蚀刻液箱、滑轨、伸缩杆、喷淋头、吸液软管、吸液球、输液电机、盛液箱、清洗箱、固定夹、安装支架和滑板,所述废液箱、蚀刻液箱、盛液箱和清洗箱固定在底板上,所述安装支架固定在底板上,所述滑轨横向固定在安装支架上,所述滑板滑动设置在滑轨上,所述伸缩杆固定在所述滑板的底部,所述固定夹固定在伸缩杆的底端,所述盛液箱位于安装支架的下方并通过输液管与废液箱连通。本发明设计结构简单,构造巧妙合理,能够有效的对玻璃进行蚀刻,同时利用机械臂夹取,有效的降低了人工的劳动强度,具有很好的推广价值。

技术领域

本发明涉及一种蚀刻装置,特别涉及一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置。

背景技术

液晶显示器、有机发光二极管等的平板显示器包括玻璃基板,其通过使用氧化硅作为主要成分形成。在这样的玻璃基板的情况下,由于玻璃基板占了平板显示器的重量的很大部分,所以正在积极地进行减少玻璃基板的重量和厚度,从而实现轻量和紧凑的平板显示器的研究。虽然由于不需要具有非常薄的厚度的超薄面板,在显示器发展的早期阶段中广泛地使用了机械抛光方法,但是近年来由于需要超薄面板,具有卓越生产率的化学湿法蚀刻方法被广泛地使用。

但是在实际情况中,蚀刻液往往都没有被清洗干净,造成玻璃表面还有残留液,在储存和运输的过程中会发生侵蚀。为此,我们提出一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:

一种带有清洗风干功能的玻璃基板蚀刻装置,包括底板、输液管、废液箱、鼓风电机、鼓风管、蚀刻液箱、滑轨、伸缩杆、喷淋头、吸液软管、吸液球、输液电机、盛液箱、清洗箱、固定夹、安装支架和滑板,所述废液箱、蚀刻液箱、盛液箱和清洗箱固定在底板上,所述安装支架固定在底板上,所述滑轨横向固定在安装支架上,所述滑板滑动设置在滑轨上,所述伸缩杆固定在所述滑板的底部,所述固定夹固定在伸缩杆的底端,所述盛液箱位于安装支架的下方并通过输液管与废液箱连通,所述输液管上设有输液泵,所述输液电机固定在底板上并与输液泵传动连接,所述吸液球置于蚀刻液箱内,所述喷淋头置于蚀刻液箱内并通过吸液软管与吸液球连通,所述喷淋头表面设置有喷孔,所述鼓风电机固定在底板上,所述鼓风管与鼓风电机连通。

进一步地,还包括移动电机和带动机构,所述带动机构横向安装在安装支架上,其移动端与滑板连接,所述移动电机固定在安装机构上并与带动机构传动连接。

进一步地,所述伸缩杆内部设置有伸缩节。

进一步地,所述废液箱、蚀刻液箱、盛液箱和清洗箱均为镀铬合金材料制成的。

进一步地,所述控制面板为绝缘的硬质PVC材料制成的。

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