[发明专利]一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统

摘要

本发明公开了一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统，本发明实现了制绒清洗过程中多个硅片花篮的同步操作，配合相对应的多工位，可成倍地提高硅片制绒的生产效率，生产者可根据产量要求，更改升降手臂的数量、对应工位设置、机械手控制程序，来选择适当的生产效率；结构新颖且高效，通过滑轨连接实现机械手的横向移动，通过无杆气缸实现机械手的纵向升降，确保了装有硅片的花篮在机械手的作用下进入对应的逐个工位中进行相应的碱洗、酸洗、漂洗等工序，拆修难度小；单个机械手臂和单元板块的参照运动便于生产者的观察，且灵活简洁的结构使整个机械手便于PLC控制，故于自动化生产方面的工业价值较高。

主权项

一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统，其特征在于：包括横移轨架(1)和升降手臂(2)，所述横移轨架(1)包括若干横向排列的单元板块(3)，若干所述单元板块(3)高度一致且相邻间距相等，并上下两端固定连接有一对横向长轨(4)，所述升降手臂(2)包括由上至下依次连接的横臂(5)、升降杆(6)和横移连接座(7)，所述横臂(5)上套合有一对用于吊挂硅片花篮的挂件(8)，所述横移连接座(7)卡合于一对横向长轨(4)、并固定于横移轨架(1)一侧，所述横移连接座(7)的宽度等于单元板块(3)的宽度，所述横移连接座(7)的端面设有一对无杆气缸(9)，一对所述无杆气缸(9)的中部均设有可上下滑移的滑块(10)，一对所述滑块(10)固定连接升降杆(6)的底部，所述升降手臂(2)的数目不小于3个且相邻升降手臂(2)的间距与相邻单元板块(3)的间距相等，所述横移连接座(7)的下部设有横向驱动连接件(11)。