[发明专利]一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统领域，特别涉及一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统。

背景技术

制绒清洗机是由移载机械手运输，经去损伤、制绒、漂洗、中和、漂洗等工艺组成一条全自动连续工作的清洗装置，主要由主体、工艺槽、移载机械手、管道系统、电气控制系统等部分组成。设备运行时，将装满硅片的花篮放置在进料台上，由移载机械手将花篮依次送到各处理工位，对硅片进行去损伤层、制绒腐蚀、清洗，然后硅片由机械手移到出料台上，由作业员将花篮取出，进行下一步的处理。

在实际生产中，机械手系统既可以横向滑移，也能上下升降，因此对于机械手结构的灵活程度和耐用程度。并且，在多个花篮一同进入工位，进行多花篮花生产同步时，现有技术的机械手系统因复杂迟滞，故难以满足上述要求。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统，能够大大提高硅片制绒的生产效率。

为达到上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统，包括横移轨架和升降手臂，所述横移轨架包括若干横向排列的单元板块，若干所述单元板块高度一致且相邻间距相等，并上下两端固定连接有一对横向长轨，所述升降手臂包括由上至下依次连接的横臂、升降杆和横移连接座，所述横臂上套合有一对用于吊挂硅片花篮的挂件，所述横移连接座卡合于一对横向长轨、并固定于横移轨架一侧，所述横移连接座的宽度等于单元板块的宽度，所述横移连接座的端面设有一对无杆气缸，一对所述无杆气缸的中部均设有可上下滑移的滑块，一对所述滑块固定连接升降杆的底部，所述升降手臂的数目不小于3个且相邻升降手臂的间距与相邻单元板块的间距相等，所述横移连接座的下部设有横向驱动连接件。

作为优选，所述单元板块上设有一对方形通孔。

作为优选，所述挂件呈叉状、且下部设有一对同向的挂钩。

作为优选，所述单元板块的相邻间距与自身宽度之比为1：1~2:1。

作为优选，所述横移连接座与单元板块的长度差大于10cm。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列有益效果：

1.实现了制绒清洗过程中多个硅片花篮的同步操作，配合相对应的多工位，可成倍地提高硅片制绒的生产效率，生产者可根据产量要求，更改升降手臂的数量、对应工位设置、机械手控制程序，来选择适当的生产效率；

2.结构新颖且高效，通过滑轨连接实现机械手的横向移动，通过无杆气缸实现机械手的纵向升降，确保了装有硅片的花篮在机械手的作用下进入对应的逐个工位中进行相应的碱洗、酸洗、漂洗等工序，拆修难度小；

3.单个机械手臂和单元板块的参照运动便于生产者的观察，且灵活简洁的结构使整个机械手便于PLC控制，故于自动化生产方面的工业价值较高。

附图说明

图1是本实施例的结构示意图。

图2是本实施例中机械手臂的立体图。

图中：1、横移轨架；2、升降手臂；3、单元板块；4、横向长轨；5、横臂；6、升降杆；7、横移连接座；8、挂件；9、无杆气缸；10、滑块；11、横向驱动连接件；12、方形通孔；13、挂钩。

具体实施方式

下面结合具体实施例，对本发明的内容做进一步的详细说明：

如图1所示，本实施例是应用于黑硅制绒清洗机的机械手系统，包括横移轨架1和升降手臂2，横移轨架1包括若干横向排列的单元板块3，若干单元板块3高度一致且相邻间距相等，并上下两端固定连接有一对横向长轨4，升降手臂2包括由上至下依次连接的横臂5、升降杆6和横移连接座7，横臂5上套合有一对用于吊挂硅片花篮的挂件8。

结合图1和图2，横移连接座7卡合于一对横向长轨4、并固定于横移轨架1一侧，横移连接座7的宽度等于单元板块3的宽度，横移连接座7的端面设有一对无杆气缸9，一对无杆气缸9的中部均设有可上下滑移的滑块10，一对滑块10固定连接升降杆6的底部，升降手臂2的数目不小于3个且相邻升降手臂2的间距与相邻单元板块3的间距相等，横移连接座7的下部设有横向驱动连接件11。