[发明专利]搬送单元

摘要

提供搬送单元，当使吸引垫与板状工件接触时，确保吸引垫的重量不施加在板状工件上而防止板状工件产生破损。搬送单元(1)对板状工件进行搬送，该搬送单元(1)具有：构件(2)，其对工件进行吸引保持；以及构件(4)，其使吸引保持构件(2)移动，吸引保持构件(2)具有：垫(20)，其对工件进行吸引保持；导轴(21)，其按照能够在接近和离开工件的方向上移动的方式对吸引垫(20)进行支承；板(23)，其具有供导轴(21)贯穿插入的贯通孔(230)并对导轴(21)进行支承；以及弹簧(27)，其维持导轴(21)对吸引垫(20)进行支承的状态并对吸引垫(20)施力，当吸引垫(20)对工件进行保持时，通过弹簧(27)来减弱吸引垫(20)对工件进行按压的力。

主权项

一种搬送单元，其对板状工件进行搬送，其特征在于，该搬送单元具有：吸引保持构件，其对板状工件进行吸引保持；以及移动构件，其使该吸引保持构件移动，该吸引保持构件具有：吸引垫，其对板状工件进行吸引保持；导轴，其按照能够在接近和离开该板状工件的方向上移动的方式对该吸引垫进行支承；支承板，其具有供该导轴贯穿插入的贯通孔，该支承板对该导轴进行支承；以及弹簧，其维持该导轴对该吸引垫进行支承的状态，对该吸引垫向接近该支承板的方向施力，当该吸引垫对板状工件进行保持时，通过该弹簧来减弱该吸引垫对板状工件进行按压的力。