[发明专利]光致抗蚀剂显影液组合物及光致抗蚀剂图案形成方法有效
| 申请号： | 201710540953.0 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107870524B | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李喻珍;鲁京奎 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供光致抗蚀剂显影液组合物及光致抗蚀剂图案形成方法，所述光致抗蚀剂显影液组合物包含下述化学式I的化合物、非离子性表面活性剂、碱性化合物和水。本发明的光致抗蚀剂显影液组合物的经时稳定性和显影力优异，且消泡功能优异。所述化学式I中，R |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 显影液 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂显影液组合物，其包含下述化学式I的化合物、非离子性表面活性剂、碱性化合物和水，化学式I所述化学式I中，R1和R2各自独立地为‑OM、碳原子数1～18的烷基或烷氧基、酚基、碳原子数5～8的环状烷基或‑O‑[CH2‑CH2‑O]n‑R3，R1和R2中至少一个为‑OM，R3为氢、碳原子数1～18的烷基或烷氧基、被碳原子数1～18的烷基取代的苯基或碳原子数5～8的环状烷基，M为氢、铵、碱金属或碱土金属，n为1～20的整数。
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