[发明专利]一种晶体制备方法及反应炉有效
| 申请号： | 201710525806.6 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107299396B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 鲁正乾;王芳;刘玉怀 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B23/02 |
| 代理公司： | 12211 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙晓凤 |
| 地址： | 450000 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明通过可控的多种源材料的送料结构，改变了传统的晶体反应炉结构，使在不改变生长条件的情况下，可以分别生长至少两种晶体，形成ABABA……的多层结构；通过多层结构的方式，让生长的晶体厚度可以控制在不会产生过大应力的范围内；且采用了多层结构，即晶体的单次产量不受制约，同时，每一生长周期所生长的晶体可以控制在不会产生过大应力的范围，从而可以减少由应力造成的缺陷，有效提高了晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 制备 方法 反应炉 | ||
【主权项】：
1.一种晶体制备方法，其特征在于，/n该制备方法具体为氮化铝晶体的制备方法，包括由反应炉炉体外部的氮化铝气体和碳化硅气体分时段进入反应炉体内并形成该两种晶体多层结构的过程。/n
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