[发明专利]一种直通型电液动力微泵有效
| 申请号： | 201710352747.7 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107123625B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 冯睿东;苏凌丰;万珍平;何倩;冯晨 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/473 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 蔡克永 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直通型电液动力微泵，包括自下而上依次设置的下底板、兼做腔壁的密封硅胶垫、盖板；下底板的左右两端分别开设有向下凹陷的用于引流的窄腔，窄腔为工质流动的过渡曲面；各窄腔分别与导入管和导出管连通；密封硅胶垫的中部为镂空结构，该镂空结构形成一空腔，空腔的面积覆盖并连通左右两端的窄腔；盖板的下表面刻蚀有梳状电极阵列；梳状电极阵列置于密封硅胶的空腔围成的区域内；下底板、密封硅胶垫和盖板之间密封结合，使梳状电极阵列被密封在由密封硅胶垫的空腔围成的密封腔体内，构成电液动力微泵加速区的流道。本直通型电液动力微泵在微流体驱动领域具有独特的使用价值和广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直通 型电液 动力 | ||
【主权项】：
一种直通型电液动力微泵，其特征在于：包括自下而上依次设置的下底板(1)、兼做腔壁的密封硅胶垫(7)、盖板(8)；所述下底板(1)的左右两端分别开设有向下凹陷的用于引流的窄腔(10)，窄腔(10)为工质流动的过渡曲面；各窄腔(10)分别与导入管(4)和导出管(5)连通；所述密封硅胶垫(7)的中部为镂空结构，该镂空结构形成一空腔(11)，空腔(11)的面积覆盖并连通左右两端的窄腔(10)；所述盖板(8)的下表面刻蚀有梳状的集电极和发射极阵列，每个集电极和发射极相互交错排布，形成一个由集电极和发射极构成的梳状电极阵列；梳状电极阵列置于密封硅胶垫(7)的空腔(11)围成的区域内；集电极和发射极由引线(9)引出；下底板(1)、密封硅胶垫(7)和盖板(8)之间密封结合，使梳状电极阵列被密封在由密封硅胶垫(7)的空腔(11)围成的密封腔体内，构成电液动力微泵加速区的流道。
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