[发明专利]一种直通型电液动力微泵有效
| 申请号： | 201710352747.7 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107123625B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 冯睿东;苏凌丰;万珍平;何倩;冯晨 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/473 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 蔡克永 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直通 型电液 动力 | ||
1.一种直通型电液动力微泵，其特征在于：包括自下而上依次设置的下底板（1）、兼做腔壁的密封硅胶垫（7）、盖板（8）；
所述下底板（1）的左右两端分别开设有向下凹陷的用于引流的窄腔（10），窄腔（10）为工质流动的过渡曲面；各窄腔（10）分别与导入管（4）和导出管（5）连通；
所述密封硅胶垫（7）的中部为镂空结构，该镂空结构形成一空腔（11），空腔（11）的面积覆盖并连通左右两端的窄腔（10）；
所述盖板（8）的下表面刻蚀有梳状的集电极和发射极阵列，每个集电极和发射极相互交错排布，形成一个由集电极和发射极构成的梳状电极阵列；
梳状电极阵列置于密封硅胶垫（7）的空腔（11）围成的区域内；
集电极和发射极由引线（9）引出；
下底板（1）、密封硅胶垫（7）和盖板（8）之间密封结合，使梳状电极阵列被密封在由密封硅胶垫（7）的空腔（11）围成的密封腔体内，构成电液动力微泵加速区的流道；
所述窄腔（10）平面呈等腰三角形结构，各自的顶角连通导入管（4）和导出管（5）；所述窄腔（10）的底面，由内向导入管（4）或导出管（5）延伸方向为逐渐向下倾斜的倾斜面；所述导入管（4）和导出管（5）的轴线平行于下底板（1）的平面；
所述空腔（11）的高度，即为密封硅胶垫（7）的厚度；
所述导入管（4）和导出管（5）与下底板（1）的衔接槽（12）结合部位，分别套设有用于密封的硅胶套（3、2）；
所述空腔（11）的短边呈三角形结构；
所述盖板（8）上刻蚀的电极对的对数为86对，电极线宽为0.1mm，集电极和发射极的电极间距为0.1mm，电极对间距为0.15mm，流道高度为0.2mm；
集电极和发射极的接线先焊接在穿透盖板（8）正反面的焊盘上，再由外部的引线（9）焊接在焊盘并引出外部。
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