[发明专利]一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置

摘要

一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，包括喷枪(9)、波纹软管(10)、第一支撑结构(11)、第二支撑结构(12)和安装板(13)，所述第二支撑结构(12)包括第二支杆(17)、第二夹持件(18)和滑轮(19)，所述安装板(13)上设有圆弧形滑槽(20)，所述滑轮(19)与圆弧形滑槽(20)滚动连接。该吹气装置应用于镀制金刚石膜设备后，在镀制金刚石膜的过程中，当观察到衬底试样表面出现异质颗粒物时，可以及时将异质颗粒物从衬底试样表面清除，从而可以避免镀制出来的金刚石膜受到异质颗粒物的影响，保证镀制出来的金刚石膜的质量。