[发明专利]一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置

说明书

一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，包括喷枪(9)、波纹软管(10)、第一支撑结构(11)、第二支撑结构(12)和安装板(13)，所述第二支撑结构(12)包括第二支杆(17)、第二夹持件(18)和滑轮(19)，所述安装板(13)上设有圆弧形滑槽(20)，所述滑轮(19)与圆弧形滑槽(20)滚动连接。该吹气装置应用于镀制金刚石膜设备后，在镀制金刚石膜的过程中，当观察到衬底试样表面出现异质颗粒物时，可以及时将异质颗粒物从衬底试样表面清除，从而可以避免镀制出来的金刚石膜受到异质颗粒物的影响，保证镀制出来的金刚石膜的质量。

技术领域

本发明涉及化学气相沉积镀制金刚石膜的设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置。

背景技术

自低压气相合成金刚石获得成功以来，在全世界范围逐步开展了气相合成金刚石的研究工作，经过努力已在沉积技术、合成工艺、性能研究、开发应用等方面，取得了很大进展。

目前气相沉积金刚石的方法有化学气相沉积CVD和物理气相沉积PVD两大类。物理气相沉积金刚石膜比较困难，化学气相沉积是沉积金刚石膜的主要方法。化学气相沉积金刚石膜是在高温条件下使原料气分解，生成碳原子或甲基原子团等活性粒子，并在一定工艺条件下，在试样上沉积生长出金刚石膜。气相沉积镀膜的设备一般包括镀膜腔体和工控系统，所述镀膜腔体内固定有电极和用于放置试样的试样台，试样台位于电极正下方。

在镀制金刚石膜时，操作者在工控系统上设定镀膜参数，启动气相沉积镀膜的设备就可以在试样上镀制金刚石膜。但在镀制金刚石膜的过程中，偶尔会发现有其它异质颗粒物会沉积在试样表面。异质颗粒物例如碳粒，由于碳原子可能以碳粒的方式析出，而沉积在试样表面。这样，受异质颗粒物的影响，镀制出来的金刚石膜存在缺陷，例如开裂等，难以达到使用需求。

因此急需设计一种能在镀制金刚石膜的过程中，当观察到试样表面出现异质颗粒物时，可以及时将异质颗粒物从试样表面清除的辅助系统，因此本案由此产生。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，该吹气装置应用于镀制金刚石膜设备后，在镀制金刚石膜的过程中，当观察到试样表面出现异质颗粒物时，可以采用吹气装置及时将异质颗粒物从试样表面清除，从而可以避免镀制出来的金刚石膜受到异质颗粒物的影响，保证镀制出来的金刚石膜的质量。

为解决上述技术问题，本发明的一种化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的吹气装置，包括喷枪、波纹软管、第一支撑结构、第二支撑结构和安装板；所述喷枪通过第一支撑结构和第二支撑结构安装在安装板上，所述安装板滑动连接在安装台上，所述第一支撑结构包括第一支杆以及与第一支杆活动连接的第一夹持件，所述第二支撑结构包括第二支杆、第二夹持件和滑轮，所述第二夹持件固定在第二支杆的一端，所述滑轮与第二支杆的另一端连接，所述喷枪固定在第一夹持件和第二夹持件上，所述安装板上设有圆弧形滑槽，所述滑轮与圆弧形滑槽滚动连接，所述安装板上固定有用以驱动滑轮在弧形滑槽内滚动的驱动机构，所述驱动机构包括第一伺服电机和摆杆，所述摆杆一端与第一伺服电机连接，所述摆杆的另一端与第二支杆连接，所述第一伺服电机与化学气相沉积镀制金刚石膜的设备的工控系统连接。

所述第一支杆包括第一杆体和第二杆体，所述第一杆体固定在安装板上，所述第一夹持件通过万向接头与第一杆体的一端连接，所述第二杆体和第一杆体滑动连接，所述第二杆体和第一杆体之间设有驱动第二杆体在第一杆体内上下滑动的驱动组件。

所述第二杆体和第一杆体滑动连接是指，所述第二杆体远离第一夹持件的一端设有滑条，所述第一杆体上设有与所述滑条滑动连接的滑槽，所述驱动组件包括第三伺服电机和齿轮，所述第三伺服电机固定在安装板上，所述第三伺服电机的驱动端与齿轮连接，所述滑条的侧壁上设有齿条，所述齿轮与齿条啮合连接。

所述喷枪的端部固定设有用于遮挡设备中的电极的挡板。