[发明专利]一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置

摘要

一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，属于半导体制造加工领域。密封箱体的右侧壁上安装有气阀一、气阀二及气阀三，密封箱体的前侧壁上位于左侧设有样品取送窗口一，位于右侧设有样品取送窗口二，样品取送窗口一处密封安装有样品取送窗门一，样品取送窗口二处密封安装有样品取送窗门二，真空紫外灯水平设置并通过灯架安装在密闭箱体内顶部，真空紫外灯下方设置有工作台，气阀一经纯净气体流量控制器与储气瓶的出口连通，气阀二经水蒸气流量控制器与水蒸气发生装置的烧瓶连通，气阀三与密闭加热器的进气口连通，密闭加热器的出气口与真空泵连通。本发明对材料表面清洗及活化的操作流程简单易行，效果显著，并且可用于批量处理。

主权项

一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，其特征在于：其组成包括密闭箱体（1）、气阀一（1‑1）、气阀二（1‑2）、气阀三（1‑3）、样品取送窗门一（1‑8）、样品取送窗门二（1‑7）、箱门（1‑9）、工作台（2）、真空紫外灯（3）、密闭加热器（4）、真空泵（5）、水蒸气发生装置（6）、储气瓶（7）、纯净气体流量控制器（8）及水蒸气流量控制器（9）；所述的密封箱体（1）的右侧壁上安装有与密封箱体（1）内部相通的气阀一（1‑1）、气阀二（1‑2）及气阀三（1‑3），密封箱体（1）的前侧壁上左右并排设有样品取送窗口，位于左侧的样品取送窗口设为样品取送窗口一，位于右侧的样品取送窗口设为样品取送窗口二，所述的样品取送窗口一处密封安装有样品取送窗门一（1‑8），所述的样品取送窗口二处密封安装有样品取送窗门二（1‑7），所述的真空紫外灯（3）水平设置并通过灯架安装在密闭箱体（1）内顶部，所述的真空紫外灯（3）下方设置有工作台（2），所述的工作台（2）通过支撑座与密闭箱体（1）内的底部固接；所述的气阀一（1‑1）经纯净气体流量控制器（8）与储气瓶（7）的出口连通，所述的气阀二（1‑2）经水蒸气流量控制器（9）与水蒸气发生装置（6）的烧瓶（6‑1）连通，所述的密闭加热器（4）设有进气口（4‑1）和出气口（4‑2），所述的气阀三（1‑3）与密闭加热器（4）的进气口（4‑1）连通，密闭加热器（4）的出气口（4‑2）与真空泵（5）连通。