[发明专利]一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置

权利要求书

1.一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，其特征在于：其组成包括密闭箱体（1）、气阀一（1-1）、气阀二（1-2）、气阀三（1-3）、样品取送窗门一（1-8）、样品取送窗门二（1-7）、箱门（1-9）、工作台（2）、真空紫外灯（3）、密闭加热器（4）、真空泵（5）、水蒸气发生装置（6）、储气瓶（7）、纯净气体流量控制器（8）及水蒸气流量控制器（9）；

所述的密封箱体（1）的右侧壁上安装有与密封箱体（1）内部相通的气阀一（1-1）、气阀二（1-2）及气阀三（1-3），密封箱体（1）的前侧壁上左右并排设有样品取送窗口，位于左侧的样品取送窗口设为样品取送窗口一，位于右侧的样品取送窗口设为样品取送窗口二，所述的样品取送窗口一处密封安装有样品取送窗门一（1-8），所述的样品取送窗口二处密封安装有样品取送窗门二（1-7），所述的真空紫外灯（3）水平设置并通过灯架安装在密闭箱体（1）内顶部，所述的真空紫外灯（3）下方设置有工作台（2），所述的工作台（2）通过支撑座与密闭箱体（1）内的底部固接；

所述的气阀一（1-1）经纯净气体流量控制器（8）与储气瓶（7）的出口连通，所述的气阀二（1-2）经水蒸气流量控制器（9）与水蒸气发生装置（6）的烧瓶（6-1）连通，所述的密闭加热器（4）设有进气口（4-1）和出气口（4-2），所述的气阀三（1-3）与密闭加热器（4）的进气口（4-1）连通，密闭加热器（4）的出气口（4-2）与真空泵（5）连通。

2.根据权利要求1所述的一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，其特征在于：所述的工作台2为固定式工作台或数控十字移动平台。

3.根据权利要求1或2所述的一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，其特征在于：所述的水蒸气发生装置（6）包括烧瓶（6-1）和加热器（6-2），所述的加热器（6-2）设置在烧瓶（6-1）底部，加热器（6-2）为电阻丝加热器。

4.根据权利要求1或2所述的一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，其特征在于：所述的密闭加热器（4）包括主壳体（4-3）、电热网（4-4）、温度控制器（4-5）和恒流直流电源（4-6），所述的电热网（4-4）、温度控制器（4-5）和恒流直流电源（4-6）依次串联，所述的主壳体（4-3）侧壁设有所述的进气口（4-1）和出气口（4-2），所述的电热网（4-4）设置在主壳体（4-3）内部的四周。

5.根据权利要求1或2所述的一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，其特征在于：所述的利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置还包括备用气阀一（1-4）、备用气阀二（1-5）及备用气阀三（1-6）；所述的密封箱体（1）的右侧壁上安装有与密封箱体（1）内部相通的备用气阀一（1-4），所述的备用气阀二（1-5）安装在样品取送门窗门二（1-7）上，所述的备用气阀三（1-6）安装在样品取送窗门一（1-8）上，备用气阀二（1-5）和备用气阀三（1-6）均与密封箱体（1）内部相通。