[发明专利]一种条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备与应用有效
申请号: | 201710308855.4 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN107170849B | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 易飞;郭颂;刘欢;谈小超;杨奥;李君宇;蒋顺;周仑 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学;深圳华中科技大学研究院 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/09 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 许恒恒;李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于胶体量子点的条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备方法,包括如下步骤:向玻璃板上生长一层硅;旋涂光刻胶;转移条形阵列结构进行显影处理;去胶处理;旋涂量子点;通过电子束蒸发设备蒸镀一层金。本发明利用条形阵列结构对短波红外特定波长的谐振作用,实现对特定波长光的全吸收,通过调节条形阵列结构的几何结构参数来控制光学吸收,实现了特定波长可调,实现可见光到红外光的吸收,且具有偏振相关性,进而胶体量子点材料制成探测器。该制备方法简易,响应迅速,可操作性强,具有广泛的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 条型超 表面 结构 偏振 相关 窄带 探测器 及其 制备 应用 | ||
【主权项】:
1.一种基于胶体量子点的条型超表面结构偏振相关窄带探测器,其特征在于,包括金背板(1)、正负金电极(2)、胶体量子点(3)、周期性条形结构(4)、硅(5)以及二氧化硅(6);正负金电极(2)位于金背板(1)两侧且两者均位于胶体量子点(3)下表面,胶体量子点(3)涂布于周期性条形结构(4)表层,且涂布于硅(5)下表面各个周期性条形结构(4)之间间隔的部分,周期性条形结构(4)并排位于硅(5)下表面,二氧化硅(6)位于硅(5)上表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的