[发明专利]柔性显示器及其形成方法有效
申请号: | 201710278073.0 | 申请日: | 2017-04-25 |
公开(公告)号: | CN107204343B | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 陈海晶 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L51/00;H01L27/32 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开了一种柔性显示器及其形成方法,涉及显示技术领域,该柔性显示器包括:第一柔性基板,有源层位于第一柔性基板第一侧的薄膜晶体管;以及位于有源层与第一柔性基板之间的多个第二柔性基板;有源层包括沟道区,第二柔性基板在第一柔性基板所在平面的正投影至少覆盖沟道区在第一柔性基板所在平面的正投影;第一柔性基板的热膨胀系数小于第二柔性基板的热膨胀系数。在薄膜晶体管的有源层下方依次层叠设置第二柔性基板和第一柔性基板,且第一柔性基板的热膨胀系数小于第二柔性基板的热膨胀系数,使得柔性显示器中的例如薄膜晶体管在不弯折的状态下具有一定的压缩量,如此等同于提升了器件的抗拉能力,有利于提升柔性显示器的抗弯折能力。 | ||
搜索关键词: | 柔性 显示器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.一种柔性显示器,其特征在于,包括:第一柔性基板,薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括有源层,所述有源层位于所述第一柔性基板的第一侧;多个第二柔性基板,所述第二柔性基板位于所述有源层与所述第一柔性基板之间;所述有源层包括沟道区,所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影至少覆盖所述沟道区在所述第一柔性基板所在平面的正投影;缓冲层,所述缓冲层位于所述沟道区与所述第二柔性基板之间,所述缓冲层的热膨胀系数小于所述第二柔性基板的热膨胀系数;所述第一柔性基板的热膨胀系数小于所述第二柔性基板的热膨胀系数。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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