[发明专利]柔性显示器及其形成方法有效
申请号: | 201710278073.0 | 申请日: | 2017-04-25 |
公开(公告)号: | CN107204343B | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 陈海晶 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L51/00;H01L27/32 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示器 及其 形成 方法 | ||
本申请公开了一种柔性显示器及其形成方法,涉及显示技术领域,该柔性显示器包括:第一柔性基板,有源层位于第一柔性基板第一侧的薄膜晶体管;以及位于有源层与第一柔性基板之间的多个第二柔性基板;有源层包括沟道区,第二柔性基板在第一柔性基板所在平面的正投影至少覆盖沟道区在第一柔性基板所在平面的正投影;第一柔性基板的热膨胀系数小于第二柔性基板的热膨胀系数。在薄膜晶体管的有源层下方依次层叠设置第二柔性基板和第一柔性基板,且第一柔性基板的热膨胀系数小于第二柔性基板的热膨胀系数,使得柔性显示器中的例如薄膜晶体管在不弯折的状态下具有一定的压缩量,如此等同于提升了器件的抗拉能力,有利于提升柔性显示器的抗弯折能力。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体地说,涉及一种柔性显示器及其形成方法。
背景技术
柔性显示器是一种制作在柔性载体(也称为柔性基板)上可折叠或可弯曲的显示装置,其以柔性衬底材料为器件的承载基板,要求电极层、TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)、显示部件以及封装层均有一定的弯曲半径,从而来实现全柔性化。由于柔性显示器具有轻薄便携、耐冲击性强的特点,并且具有设计美感,对于其技术的研究和创新越来越受到人们的重视。
通常,柔性显示器弯折时,包括TFT在内的多个功能层会受到不同程度的拉力或者压力,而由于例如TFT膜层承受压缩的能力高于承受拉伸的能力,故柔性显示器在不同弯折方向上的弯折能力(即能够实现的最大可弯曲程度)不同。目前对于具有两个相反弯折方向的柔性显示器存在的一种问题是在一个弯折方向上达到或超过弯折要求,例如具有较强的抗压缩能力、而在另一个弯折方向上不满足弯折要求,例如具有较弱的抗拉伸能力,即存在着一种“抗压而不抗拉”的问题。目前,在柔性显示器的结构设计中,通过将TFT设置在中性面处,可以减少弯折时TFT上所承受的拉力和压力,从而提高TFT膜层的抗拉伸和抗压缩能力,进而提升柔性显示器在不同弯折方向上的弯折能力,但是此种设计仍有缺点:首先,TFT仍是一个有厚度的结构,在弯折时仍会受到一定的弯折力,例如拉力;其次,在柔性显示器中可能存在比TFT的弯折能力,例如抗拉伸能力更差的膜层,使得需要把中性面设置在偏离TFT的膜层。因此,如何通过一种新的设计来提升柔性显示器中例如薄膜晶体管等膜层的抗拉伸能力,亦即抗弯折能力成为现阶段亟需解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此,本申请有如下技术方案:
第一方面,本申请提供一种柔性显示器,其特征在于,包括:
第一柔性基板,薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括有源层,所述有源层位于所述第一柔性基板的第一侧;
多个第二柔性基板,所述第二柔性基板位于所述有源层与所述第一柔性基板之间;
所述有源层包括沟道区,所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影至少覆盖所述沟道区在所述第一柔性基板所在平面的正投影;
所述第一柔性基板的热膨胀系数小于所述第二柔性基板的热膨胀系数。
可选地,其中:
所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影与所述有源层在所述第一柔性基板所在平面的正投影完全重叠。
可选地,其中:
在显示区内,所述第一柔性基板的所述第一侧设置有,多条沿第一方向排列且沿第二方向延伸的栅极线,多条沿所述第二方向排列且沿所述第一方向延伸的数据信号线;
所述第一方向与所述第二方向交叉,所述栅极线与所述数据信号线绝缘;
设定相邻的两条所述栅极线与相邻的两条所述数据信号线之间限定的区域为像素区域,所述薄膜晶体管位于所述像素区域内,所述像素区域内设置有多个所述薄膜晶体管。
可选地,其中:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的