[发明专利]一种新型测量离子束的法拉第装置有效
| 申请号： | 201710273866.3 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108732610B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张喻召 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;H01J37/317;H01J37/32;H01J37/34 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的测量离子束的法拉第装置，包括：水平测束石墨杯(1)、竖直测束石墨杯(2)、法拉第腔体(3)、永磁体(4)、信号采集板(5)支持装置(6)、水冷装置(7)。水平测束石墨杯(1)、竖直测束石墨杯阵列(2)和永磁体(4)置于法拉第腔体(3)中，并共同由支持装置(5)提供固定与支持，支持装置中有冷却水道为法拉第提供水冷支持，采集到的信号由信号采集板引出。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 测量 离子束 法拉第 装置 | ||
【主权项】：
1.一种新型测量离子束的法拉第装置，包括：水平测束石墨杯(1)、竖直测束石墨杯(2)、法拉第腔体(3)、永磁体(4)、信号采集板(5)支持装置(6)、水冷装置(7)。其特征在于：采用二维法拉第阵列的方式，用来测量等离子体束的二维分布，包括束流剖面形状与密度分布等。
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