[发明专利]一种新型测量离子束的法拉第装置有效
| 申请号： | 201710273866.3 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108732610B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张喻召 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;H01J37/317;H01J37/32;H01J37/34 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 测量 离子束 法拉第 装置 | ||
1.一种新型测量离子束的法拉第装置，包括：水平测束石墨杯(1)、竖直测束石墨杯(2)、法拉第腔体(3)、永磁体(4)、信号采集板(5)、支撑装置(6)、水冷装置(7)，其特征在于：通过将长条型水平测束石墨杯(1)和竖直测束石墨杯(2)阵列在水平方向扫描，来测量等离子体束流的二维分布；采用二维法拉第阵列的方式，用来测量等离子体束流的二维分布，包括束流剖面形状与密度分布等；所述竖直测束石墨杯(2)阵列排列为两列，两列中的竖直测束石墨杯(2)错开设置。
2.如权利要求1所述的一种新型测量离子束的法拉第装置，其特征在于：水平测束石墨杯口为长方形，数量为1个，竖直测束石墨杯杯口为正方形，数量为24个。
3.如权利要求1所述的一种新型测量离子束的法拉第装置，其特征在于：在法拉第腔体(3)的石墨杯口位置有6个永磁体(4)，在石墨杯口提供有一定强度的磁场，防止二次电子和其它离子对于法拉第测量值的干扰，保证测量值的准确性。
4.如权利要求1所述的一种新型测量离子束的法拉第装置，其特征在于：通过一定厚度的信号采集板(5)将石墨杯采集到的电流信号导出，同时隔离石墨杯与腔体，保证有良好的绝缘效果。
5.如权利要求1所述的一种新型测量离子束的法拉第装置，其特征在于：通过一定厚度的支持装置(6)和冷却装置(7)，提供法拉第在工作过程中进行流动水冷却，保证其工作在合适温度范围内。
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