[发明专利]扩展装置

摘要

提供一种扩展装置，使粘合带均匀地收缩。扩展装置具有：框架保持构件(32)；保持工作台(33)，其具有对粘合带(110)的粘贴有晶片(10)的晶片保持区域(111)进行吸引保持的保持面(332a)，粘合带安装在框架(100)上；进退构件(34)，其使框架保持构件和保持工作台在基准位置与扩展位置之间相对移动；以及加热构件(35)，其使通过进退构件而在晶片保持区域与框架之间发生了扩展的粘合带收缩，保持工作台在保持面的外周具有扩展辅助辊(334)，扩展辅助辊对晶片保持区域与框架之间的粘合带起作用，扩展辅助辊是仅按照与粘合带在保持面的径向上扩展时所移动的方向一致的朝向旋转的单向辊。

主权项

一种扩展装置，其对具有热收缩性和扩展性的粘合带进行扩展，该粘合带覆盖环状的框架的开口部而被安装，并粘贴有晶片，该扩展装置的特征在于，具有：框架保持构件，其对该框架进行保持；保持工作台，其具有对安装在该框架保持构件所保持的该框架上的粘合带的粘贴有该晶片的晶片保持区域进行吸引保持的保持面；进退构件，其在与该保持面垂直的轴向上使该框架保持构件和该保持工作台在基准位置与该保持面从该框架保持构件突出了的扩展位置之间相对移动；以及加热构件，其使通过该进退构件而在该晶片保持区域与该框架之间发生了扩展的该粘合带收缩，该保持工作台在该保持面的外周具有扩展辅助辊，该扩展辅助辊对该晶片保持区域与该框架之间的该粘合带起作用，该扩展辅助辊是仅按照与该粘合带在该保持面的径向上扩展时所移动的方向一致的朝向旋转的单向辊。