[发明专利]衬底支撑板和包含其的薄膜沉积设备

摘要

本发明提供一种衬底支撑板和包含其的薄膜沉积设备。所述衬底支撑板可防止衬底的后表面上的沉积且可易于卸载所述衬底。所述衬底支撑板可包含：衬底安装部分；以及外围部分，其围绕所述衬底安装部分，且所述衬底安装部分的顶部表面的边缘部分可经阳极氧化，且所述衬底安装部分的所述顶部表面的中心部分可不经阳极氧化。

主权项

1.一种衬底支撑板，包括：衬底安装部分；以及外围部分，围绕所述衬底安装部分，其中所述衬底安装部分的顶部表面的边缘部分经阳极氧化，且所述衬底安装部分的所述顶部表面的中心部分不经阳极氧化，使得所述衬底支撑板的金属层被暴露出来，其中经阳极氧化的所述边缘部分与待处理的目标衬底重迭，其中不经阳极氧化的所述中心部分的面积小于待处理的所述目标衬底的面积，且其中被暴露的所述金属层朝向待处理的所述目标衬底。