[发明专利]一种基板传输装置及方法有效
| 申请号： | 201710115101.7 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108502543B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 梁校;李洋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板传输装置及方法，包括依次设于机械手和工件台之间的基板传送台和基板过渡气浮组件，所述基板传送台包括沿X向平行设置的基板上板传送台和基板下板传送台，所述基板上板传送台和基板下板传送台靠近所述机械手的一侧分别设有基板传送组件。通过设置基板传送台和基板过渡气浮组件，在基板传送台与工件台进行工件交接的过程中，通过使用过渡气浮组件与导向辊轮的配合，实现了基板在机械手和工件台之间高效安全地传输，并且极大降低了传送分系统的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 基板传送 传送台 机械手 工件台 过渡气 基板传输装置 上板 下板 导向辊轮 高效安全 工件交接 平行设置 传送 传输 配合 | ||
【主权项】：
1.一种基板传输装置，其特征在于，包括依次设于机械手和工件台之间的基板传送台和基板过渡气浮组件，所述基板传送台包括沿X向平行设置的基板上板传送台和基板下板传送台，所述基板上板传送台和基板下板传送台靠近所述机械手的一侧分别设有基板传送组件，其中，基板上板时，所述基板依次通过所述机械手、所述基板上板传送台、所述基板过渡气浮组件向所述工件台传输，基板下板时，所述基板依次通过所述工件台、所述基板过渡气浮组件、所述基板下板传送台向所述机械手传输，所述X向垂直于所述基板传输方向，所述基板上板传送台和基板下板传送台可沿X向滑动。/n
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