[发明专利]用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 201710033540.3 | 申请日： | 2011-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN106995922A | 公开（公告）日： | 2017-08-01 |
| 发明（设计）人： | 林玟基;权五柄;李喻珍;刘仁浩;李俊雨;朴英哲;张尚勋 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/42 | 分类号： | C23F1/42;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 李雪,姚开丽 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物，基于组合物的总重量，包含5wt％～20wt％的过硫酸盐，0.01wt％～2wt％的氟化合物，1wt％～10wt％的选自无机酸、无机酸盐及它们的混合物中的一种或多种，0.3wt％～5wt％的环状胺化合物，0.01wt％～5wt％的氯化合物，及其余为水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物，基于所述组合物的总重量，包含：5wt％～20wt％的过硫酸盐；0.01wt％～2wt％的氟化合物；1wt％～10wt％的选自无机酸、无机酸盐及它们的混合物中的一种或多种；0.3wt％～5wt％的环状胺化合物；0.01wt％～5wt％的氯化合物；以及其余为水。
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