[发明专利]一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置和方法

摘要

依据本发明的一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统。侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，电压采集装置分别与机台主体和控制系统通信连接，并且电压采集装置定时采集机台主体的电压信号，并将电压信号传送至控制系统；控制系统处理电压信号，并显示电压的变化趋势。本发明能够更精确地侦测到气相沉积机台的实际清理结束时间点，便于合理控制气相沉积机台的最佳清理时间。本发明同时公开一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法。

主权项

1.一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，所述气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统，其特征在于，所述侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，所述电压采集装置分别与所述机台主体和所述控制系统通信连接，并且所述电压采集装置定时采集所述机台主体的电压信号，并将所述电压信号传送至所述控制系统；所述控制系统处理所述电压信号，并显示所述电压的变化趋势。