[发明专利]一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置和方法

权利要求书

1.一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法，所述气相沉积机台包含机台主体和控制系统，所述机台主体的电压信号在清理结束时间点发生骤变，其特征在于，所述方法包含以下步骤：

步骤1：在所述气相沉积机台清理过程中使用电压采集装置定期采集所述机台主体的电压信号；

步骤2：所述电压采集装置将采集到的所述电压信号传送至所述控制系统；

步骤3：所述控制系统对所述电压信号进行处理，依据所述电压的变化趋势确定所述电压信号的骤变的时间点以确定并显示所述清理结束时间点，

在所述清理结束时间点的基础上延长一定清理时间后结束清理。

2.根据权利要求1所述的侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法，其特征在于，所述步骤1中所述电压采集装置每隔2s采集一次所述电压信号。

3.根据权利要求1所述的侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法，其特征在于，所述步骤3包含：

步骤3a：所述控制系统将所述电压信号转换为数字信号；

步骤3b：所述控制系统依据所述数字信号绘制并显示所述电压的变化曲线；

步骤3c：操作者依据所述电压变化曲线确定电压骤变点，并将所述电压骤变点确定为所述清理结束时间点。

4.一种应用权利要求1至3任一项所述的方法的侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，所述气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统，所述机台主体的电压信号在清理结束时间点发生骤变，其特征在于，所述侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，

所述电压采集装置分别与所述机台主体和所述控制系统通信连接，并且所述电压采集装置定时采集所述机台主体的电压信号，并将所述电压信号传送至所述控制系统；

所述控制系统处理所述电压信号，显示所述电压的变化趋势，依据所述电压的变化趋势确定所述电压信号的骤变的时间点以确定并显示所述清理结束时间点。

5.根据权利要求4所述的侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，其特征在于，所述电压采集装置每隔2s采集一次所述电压信号。