[发明专利]一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置和方法

说明书

依据本发明的一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统。侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，电压采集装置分别与机台主体和控制系统通信连接，并且电压采集装置定时采集机台主体的电压信号，并将电压信号传送至控制系统；控制系统处理电压信号，并显示电压的变化趋势。本发明能够更精确地侦测到气相沉积机台的实际清理结束时间点，便于合理控制气相沉积机台的最佳清理时间。本发明同时公开一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法。

技术领域

本发明涉及检测领域，特别涉及一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置和方法。

背景技术

传统气相沉积机台在进行外气相沉积操作后通常会在沉积腔体以及沉积腔体的内部器件上残留有大量的颗粒状或薄膜状残渣，为了不影响下一次气相沉积的工作效率，需要对这些残渣进行清理。现有技术中通常使用高压N2进行吹扫清理，或者利用氟离子等能够与残渣发生反应的物质进行清理。然而，清理时间过短会导致沉积腔体无法清理干净；而清理时间过长则容易损坏沉积腔体内部的其他器件，从而影响这些器件的使用寿命或直接影响机台的气相沉积效果。

清理结束时间点(clean end point)是指机台本身判定清理结束所在的时刻，并且该清理结束时间点会根据清理方法、清理介质等实际清理条件的不同而发生变化。操作者通常会根据实际情况在该清理结束时间点的基础上适当延长清理时间，以实现最佳的实际清理效果。然而，传统气相沉积机台无法直接准确地确定机台实际的清理结束时间点，每当机台清理条件发生变化时，只能总结不同时间段的清理效果来估算清理结束时间点，最终得到的清理时间过于依赖操作者的经验，并且不够精确。

因此急需对现有设备进行改进，以更直观、更准确地确定气相沉积机台的清理结束时间点。

发明内容

为了克服现有技术中所存在的缺陷，本发明基于气相沉积机台清理过程中电压的变化规律提供一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，该装置能够使用方便、准确地侦测到气相沉积机台的清理结束时间点。并且本发明进一步提供一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法。

依据本发明的一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置，气相沉积机台包含通信连接的机台主体和控制系统，侦测气相沉积机台清理结束时间点的装置包含电压采集装置，其中，电压采集装置分别与机台主体和控制系统通信连接，并且电压采集装置定时采集机台主体的电压信号，并将电压信号传送至控制系统；控制系统处理电压信号，并显示电压的变化趋势。

进一步地，电压采集装置每隔2s采集一次电压信号。

依据本发明的一种侦测气相沉积机台清理结束时间点的方法，气相沉积机台包含机台主体和控制系统，方法包含以下步骤：

步骤1：在气相沉积机台清理过程中使用电压采集装置定期采集机台主体的电压信号；

步骤2：电压采集装置将采集到的电压信号传送至控制系统；

步骤3：控制系统对电压信号进行处理，确定并显示清理结束时间点。

进一步地，步骤1包含电压采集装置每隔2s采集一次电压信号。

进一步地，步骤3包含：

步骤3a：控制系统将电压信号转换为数字信号；

步骤3b：控制系统依据数字信号绘制并显示电压的变化曲线；

步骤3c：操作者依据电压变化曲线确定电压骤变点，并将电压骤变点确定为清理结束时间点。

由于采用以上技术方案，本发明与现有技术相比(1)仅需在传统机台上加装电压采集装置，无需大规模改造，操作简单、成本低；(2)通过电压采集装置直接采集机台在清理过程中的电压信号，通过电压骤变点来确定实际的清理结束时间点，从而能够依据该清理结束时间点设定更合理的清理时间。