[发明专利]X射线探测器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种X射线探测器及其制造方法，属于探测技术领域。所述X射线探测器包括衬底基板；衬底基板上设置有多个探测单元，多个探测单元中的任一探测单元包括依次设置的薄膜晶体管TFT、设置有过孔的绝缘层和感光结构，TFT中的第一电极通过绝缘层上的过孔和感光结构电连接，第一电极为TFT的源极或漏极；设置有所述多个探测单元的衬底基板上设置有闪烁层。本发明通过分层设置感光结构和TFT，使得增大感光结构的感光面积时，不会受到TFT的影响。解决现有技术中增大感光层时，X射线探测器的探测精度会降低的问题。达到了能够在不降低X射线探测器的探测精度的情况下，增大感光结构的感光面积的效果。

主权项

一种X射线探测器，其特征在于，所述X射线探测器包括：衬底基板；所述衬底基板上设置有多个探测单元，所述多个探测单元中的任一探测单元包括依次设置的薄膜晶体管TFT、设置有过孔的绝缘层和感光结构，所述TFT中的第一电极通过所述绝缘层上的过孔和所述感光结构电连接，所述第一电极为所述TFT的源极或漏极；设置有所述多个探测单元的衬底基板上设置有闪烁层。