[发明专利]研磨垫以及研磨方法在审
| 申请号: | 201680038710.0 | 申请日: | 2016-05-18 |
| 公开(公告)号: | CN107708926A | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
| 发明(设计)人: | 森永均;玉井一诚;田原宗明;浅井舞子;伊藤友一 | 申请(专利权)人: | 福吉米株式会社 |
| 主分类号: | B24B37/24 | 分类号: | B24B37/24;B24B37/00 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,李茂家 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供一种研磨垫,其在对表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物进行研磨时,能够充分研磨至研磨对象物的表面中凸部的附近部分、凹部的内表面。研磨垫具有立毛部(1),所述立毛部(1)是多个长度为2mm以上的纤维(12)在基部(11)的表面立起而成的,纤维(12)的质量为250g/m2以上。该研磨垫用于含有金属、合金、或者金属氧化物材料、且表面具有凸部(21)和凹部(22)中的至少一者的研磨对象物(2)的研磨。 | ||
| 搜索关键词: | 研磨 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种研磨垫,其用于含有金属、合金、或者金属氧化物材料、且表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物的研磨,所述研磨垫具有立毛部,所述立毛部是多个长度为2mm以上的纤维在基部的表面立起而成的,所述纤维的质量为250g/m2以上。
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