[发明专利]研磨垫以及研磨方法

说明书

技术领域

本发明涉及研磨垫以及研磨方法。

背景技术

使用例如由绒面革构成的以往的研磨垫对表面具有凸部的研磨对象物进行研磨时，虽然能够对研磨对象物的大部分表面进行研磨，但是对于研磨对象物的表面中凸部的附近部分，由于研磨垫的变形性不充分，因此有时研磨垫不与其接触，不能充分研磨。

若使用具有纤维立起的立毛部的布帛(例如参照专利文献1)作为研磨垫，则由于立毛部的变形性高，因此可能立毛部也会接触研磨对象物的表面中凸部的附近部分。但是，在使用了专利文献1中公开的布帛作为研磨垫的研磨中，根据凸部的形状、大小不同，有时不能对研磨对象物表面中凸部的附近部分进行充分研磨。

对表面具有凹部的研磨对象物进行研磨时也同样，使用了由绒面革构成的以往的研磨垫的研磨中、使用了专利文献1中公开的布帛作为研磨垫的研磨中，有时不能充分研磨至凹部的内表面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开公报2010年第53502号

发明内容

发明要解决的问题

因此，本发明的课题在于，解决如上所述的现有技术所具有的问题，提供一种在对表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物进行研磨时，能够充分研磨至研磨对象物的表面中凸部的附近部分、凹部的内表面的、研磨垫以及研磨方法。

用于解决问题的方案

为了解决前述问题，本发明的一个方案的研磨垫的主旨在于，该研磨垫用于含有金属、合金、或者金属氧化物材料、且表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物的研磨，所述研磨垫具有立毛部，所述立毛部是多个长度为2mm以上的纤维在基部的表面立起而成的，纤维的质量为250g/m²以上。

另外，本发明的另一方案的研磨方法的主旨在于，使用上述一个方案的研磨垫对研磨对象物进行研磨。

发明的效果

根据本发明，在表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物的研磨中，能够充分研磨至研磨对象物的表面中凸部的附近部分、凹部的内表面。

附图说明

图1为说明本发明的研磨垫的一个实施方式的图。

图2为说明表面具有凸部的研磨对象物的图。

图3为说明本发明的研磨方法的一个实施方式的图，为说明对表面具有凸部的研磨对象物进行研磨的方法的图。

图4为说明表面具有凹部的研磨对象物的图。

图5为说明本发明的研磨方法的一个实施方式的图，为说明对表面具有凹部的研磨对象物进行研磨的方法的图。

具体实施方式

对本发明的一个实施方式进行详细说明。需要说明的是，以下实施方式是本发明的一个示例，本发明不限于本实施方式。另外，可以对以下实施方式施加各种变更或者改良，这种施加了变更或改良的方式也包括在本发明中。

如图1所示，本实施方式的研磨垫具有立毛部1，该立毛部是多个长度L为2mm以上的纤维12在基部11的表面立起而成的。在基部11的表面立起的长度L为2mm以上的纤维12的质量为250g/m²以上。

使用由绒面革、无纺布、聚氨酯等构成的以往的研磨垫对图2所示那样的表面具有凸部21的研磨对象物2、图4所示那样的表面具有凹部22的研磨对象物2进行研磨时，由于研磨垫的变形性不充分，因此存在研磨垫的形状不能追随凸部21、凹部22的形状，研磨垫不与研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分(即，凸部21的基端部的周边部分)、凹部22的内表面接触，存在无法研磨的情况。

但是，若使用上述那样构成的本实施方式的研磨垫对表面具有凸部21和凹部22中的至少一者的研磨对象物2进行研磨，则纤维12发生变形而立毛部1凹陷，从而追随凸部21、凹部22的形状，因此研磨垫也能够与研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分、凹部22的内表面接触，进行充分地研磨。

需要说明的是，绒面革不具有立毛部，其是在基材上设置具有大量孔隙的发泡聚氨酯层而成的。该发泡聚氨酯层的厚度通常为1mm以下，且最大也小于2mm。

以下对本实施方式的研磨垫、研磨对象物、研磨方法等进一步详细地进行说明。

(1)关于研磨垫