[实用新型]一种具有减反射能力的单晶硅片

摘要

本实用新型涉及单晶硅片技术领域，尤其一种具有减反射能力的单晶硅片，包括硅片本体，硅片本体的四角设为圆弧倒角，所述硅片本体的正面设置有高折射率介质膜，所述高折射率介质膜的上表面设置有低折射率介质膜，所述低折射率介质膜的上部设置有反射层，所述反射层内设置有第一压花玻璃和第二压花玻璃，所述第一压花玻璃和第二压花玻璃的透光面向上，所述第一压花玻璃与第二压花玻璃之间的夹角为90度，所述反射层的上部设置有玻璃半球，所述硅片本体中均匀掺杂分布有镓粒，所述硅片本体的背面设置有吸光层，本实用新型提高了单晶硅片的电性能，有效地减少单晶硅片自身的反射。

主权项

一种具有减反射能力的单晶硅片，包括硅片本体（1），硅片本体 1 的四角设为圆弧倒角，其特征在于：所述硅片本体（1）的正面设置有高折射率介质膜（6），所述高折射率介质膜（6）的上表面设置有低折射率介质膜（7），所述低折射率介质膜（7）的上部设置有反射层（3），所述反射层（3）内设置有第一压花玻璃（8）和第二压花玻璃（9），所述第一压花玻璃（8）和第二压花玻璃（9）的透光面向上，所述第一压花玻璃（8）与第二压花玻璃（9）之间的夹角为90度，所述反射层（3）的上部设置有玻璃半球（2），所述硅片本体（1）中均匀掺杂分布有镓粒（4），所述硅片本体（1）的背面设置有吸光层（5）。