[实用新型]一种可移动的线性蒸发源速率监测系统及其蒸镀设备

摘要

本实用新型涉及蒸发源技术领域，尤其涉及一种可移动的线性蒸发源速率监测系统及其蒸镀设备，包括移动装置、蒸镀速率监测装置和蒸镀材料阻挡装置；所述移动装置为滑轨；所述监测装置滑动设置于所述滑轨上；所述阻挡装置包括两个滚轴、驱动所述滚轴的驱动装置、以及绕在两个所述滚轴上形成环状的挡板；所述挡板位于所述滑轨与喷嘴之间；所述监测装置固定于所述挡板上，且在所述挡板上开设有供所述监测装置的监测头伸出的通孔。本实用新型的发明目的在于提供一种可移动的线性蒸发源速率监测系统及其蒸镀设备，采用本实用新型提供的技术方案能够在对整个蒸镀设备的蒸镀速率进行及时有效的检测的同时，还能减小检测系统移动过程中对蒸镀速率的影响。

主权项

一种可移动的线性蒸发源速率监测系统，其特征在于：包括移动装置、蒸镀速率监测装置和蒸镀材料阻挡装置；所述移动装置为与蒸发源喷嘴并排形成的直线平行的滑轨；所述监测装置滑动设置于所述滑轨上，且其监测头朝向所述蒸发源喷嘴；所述阻挡装置包括两个滚轴、驱动所述滚轴的驱动装置、以及质软的、且绕在两个所述滚轴上形成环状的挡板；所述挡板位于所述滑轨与喷嘴之间，且所述滑轨朝向所述喷嘴投向所述挡板的投影完全落入所述挡板上；所述监测装置固定于所述挡板上，且在所述挡板上开设有供所述监测装置的监测头伸出的通孔。