[实用新型]一种可移动的线性蒸发源速率监测系统及其蒸镀设备有效
| 申请号： | 201621305300.1 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206289300U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 曾兴中;邓云升;吕玉武;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人： | 温旭 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 移动 线性 蒸发 速率 监测 系统 及其 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种可移动的线性蒸发源速率监测系统，其特征在于：
包括移动装置、蒸镀速率监测装置和蒸镀材料阻挡装置；
所述移动装置为与蒸发源喷嘴并排形成的直线平行的滑轨；
所述监测装置滑动设置于所述滑轨上，且其监测头朝向所述蒸发源喷嘴；
所述阻挡装置包括两个滚轴、驱动所述滚轴的驱动装置、以及质软的、且绕在两个所述滚轴上形成环状的挡板；所述挡板位于所述滑轨与喷嘴之间，且所述滑轨朝向所述喷嘴投向所述挡板的投影完全落入所述挡板上；所述监测装置固定于所述挡板上，且在所述挡板上开设有供所述监测装置的监测头伸出的通孔。
2.根据权利要求1所述的一种可移动的线性蒸发源速率监测系统，其特征在于：
所述挡板位于所述喷嘴的喷射轨迹以外。
3.根据权利要求2所述的一种可移动的线性蒸发源速率监测系统，其特征在于：
所述阻挡装置包括两个滚轴、驱动所述滚轴的驱动装置、以及质软的、且绕在两个所述滚轴上形成环状的挡板；
所述驱动装置为电机驱动组件。
4.根据权利要求1所述的一种可移动的线性蒸发源速率监测系统，其特征在于：
包括移动装置、蒸镀速率监测装置和蒸镀材料阻挡装置；
所述监测装置为石英晶体振荡器组件。
5.一种蒸镀设备，其特征在于：
包括权利要求1-4中任一项所述的线性蒸发源速率监测系统。
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