[实用新型]蚀刻设备及其片式收料装置

摘要

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其片式收料装置，该片式收料装置包括机架以及设置于机架上的输送装置、第一存料装置、拾取装置和第一驱动装置；所述输送装置用于输送片料至预定位置，所述第一存料装置位于所述输送装置的一侧，以收纳片料；所述拾取装置可在水平方向上来回移动地安装于所述机架上，并位于所述输送装置和所述第一存料装置的上方，以将所述输送装置上的片料转移至所述第一存料装置中；所述第一驱动装置连接于所述机架和所述拾取装置之间，以驱动所述拾取装置相对于所述机架在水平方向上来回移动。本实用新型的片式收料装置中的拾取装置能够将输送装置上的片料转移至第一存料装置，为片料的收料提供极大的便利。

主权项

一种蚀刻设备用片式收料装置，其特征在于，包括机架(1)以及设置于机架(1)上的输送装置(2)、第一存料装置(3)、拾取装置(4)和第一驱动装置；所述输送装置(2)用于输送片料至预定位置，所述第一存料装置(3)位于所述输送装置(2)的一侧，以收纳片料；所述拾取装置(4)可在水平方向上来回移动地安装于所述机架(1)上，并位于所述输送装置(2)和所述第一存料装置(3)的上方，以将所述输送装置(2)上的片料转移至所述第一存料装置(3)中；所述第一驱动装置连接于所述机架(1)和所述拾取装置(4)之间，以驱动所述拾取装置(4)相对于所述机架(1)在水平方向上来回移动。