[实用新型]一种半导体烘箱有效
申请号: | 201620743054.1 | 申请日: | 2016-07-14 |
公开(公告)号: | CN206122109U | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 汪良美;汪都;杨华 | 申请(专利权)人: | 安徽安美半导体有限公司 |
主分类号: | B05D3/02 | 分类号: | B05D3/02;H01L21/67 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人: | 章登亚 |
地址: | 247000 安徽省池州市经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体烘箱,包括箱体、风机、加热模块,所述箱体内设有内胆,风机由电机、扇叶组成,所述电机的电路上设置一个电流传感器,电流传感器连接到控制器上,控制器连接安装第一蜂鸣器,所述内胆内设置一个温度传感器,温度传感器连接到温控器上,温控器上连接安装第二蜂鸣器。本实用新型结构简单,安装方便,制造成本低,效果突出,能及时有效的最大程度的挽回损失,另在损失无法挽回的情况下,节省时间重新烘烤下一批,且减少后续检验中不必要的工作,增加工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 烘箱 | ||
【主权项】:
一种半导体烘箱,包括箱体、风机、加热模块,所述箱体内设有内胆,风机由电机、扇叶组成,其特征在于,所述电机的电路上设置一个电流传感器,电流传感器连接到控制器上,控制器连接安装第一蜂鸣器,所述内胆内设置一个温度传感器,温度传感器连接到温控器上,温控器上连接安装第二蜂鸣器。
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