[实用新型]一种半导体烘箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别是涉及一种半导体烘箱。

背景技术

半导体材料经过封装以后，烘箱对材料起到固化作用，操作人员对材料进行固化，在烘烤时需要打开电机鼓风、加热方可烘材料，在此烘烤需要8小时，在此过程中电机一直在运转加热器不停的加温，这期间如果出现电机损坏就会出现材料烘烤不均匀，材料良率下降，如果出现加热器加温不正常里面的温度达不到材料也会出现良率下降，产线IPQC在巡检过程中不一定会发现这些问题，而且在后续生产环节中还严重影响IPQC工作进度，质量及良率下降。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的缺陷，提供一种半导体烘箱，可对烘箱使用过程中发生的故障及时发出警报，使操作人员能第一时间进行修复，挽回损失或是增加工作效率。

本实用新型的技术方案：

一种半导体烘箱，包括箱体、风机、加热模块，所述箱体内设有内胆，风机由电机、扇叶组成，所述电机的电路上设置一个电流传感器，电流传感器连接到控制器上，控制器连接安装第一蜂鸣器，所述内胆内设置一个温度传感器，温度传感器连接到温控器上，温控器上连接安装第二蜂鸣器。

进一步地，所述电流传感器为电磁式电流互感器。

进一步地，所述第一蜂鸣器和第二蜂鸣器所发出的声音不同。

进一步地，所述温控器上设有时间继电器。

与现有技术相比，本实用新型通过在风机的电路上和内胆内分别增设电流传感器和温度传感器，以及在传感器上分别连接控制器和蜂鸣器，当风机的电机发生故障，电流传感器感应电流变化，传递信号给控制器，控制器控制蜂鸣器发出警报，当加热模块发生故障，内胆内的温度降低或是升高，超出温控器设置的温度，此时温度传感器传递信号给温控器，温控器控制蜂鸣器发出警报，提醒工作人员及时进行维修挽回损失或是直接加工下一批，增加工作效率。本实用新型结构简单，安装方便，制造成本低，效果突出，能及时有效的最大程度的挽回损失，另在损失无法挽回的情况下，节省时间重新烘烤下一批，且减少后续检验中不必要的工作，增加工作效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例1：

一种半导体烘箱，如图1所示，包括箱体1、风机2、加热模块3，所述箱体1内设有内胆11，风机2由电机21、扇叶22组成，所述电机21的电路上设置一个电流传感器23，电流传感器23连接到控制器24上，控制器24连接安装第一蜂鸣器25，所述内胆11内设置一个温度传感器12，温度传感器12连接到温控器13上，温控器13上连接安装第二蜂鸣器14。

进一步地，所述电流传感器23为电磁式电流互感器。

进一步地，所述第一蜂鸣器25和第二蜂鸣器14所发出的声音不同。

进一步地，所述温控器12上设有时间继电器。

本实用新型通过在风机的电路上和内胆内分别增设电流传感器和温度传感器，以及在传感器上分别连接控制器和蜂鸣器，当风机的电机发生故障，电流传感器感应电流变化，传递信号给控制器，控制器控制蜂鸣器发出警报，当加热模块发生故障，内胆内的温度降低或是升高，超出温控器设置的温度，此时温度传感器传递信号给温控器，温控器控制蜂鸣器发出警报，提醒工作人员及时进行维修挽回损失或是直接加工下一批，增加工作效率。本实用新型结构简单，安装方便，制造成本低，效果突出，能及时有效的最大程度的挽回损失，另在损失无法挽回的情况下，节省时间重新烘烤下一批，且减少后续检验中不必要的工作，增加工作效率。