[实用新型]图形测试系统有效
| 申请号： | 201620306397.1 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN205506666U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李东昇;丁海生;马新刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种图形测试系统。所述图形测试系统包括第一腔体、第二腔体、承片台、光源、光路转换系统和探测器，光源发射的光束经过光路转换系统转换后入射至待测样片上，探测器根据所述待测样片的反射光得到所述待测样片的反射率，并将所述待测样片的反射率与参考样片的反射率进行比较，即可确定所述待测样片是否异常。该系统结构简单、易于实现，解决了现有测试设备分辨率不够或价格昂贵的问题，并且，测试方法简单，无需特殊技能。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种图形测试系统，其特征在于，包括：第一腔体；设置于所述第一腔体内的第二腔体，所述第二腔体具有一出光口；设置于所述第一腔体内的承片台；以及设置于所述第二腔体内的光源、光路转换系统和探测器，所述光源发射的光束经过所述光路转换系统转换后通过所述出光口入射至所述承片台承载的待测样片上，所述探测器探测所述待测样片的反射光。
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