[实用新型]一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备有效

申请号：	201620278842.8	申请日：	2016-04-05
公开（公告）号：	CN205752113U	公开（公告）日：	2016-11-30
发明（设计）人：	黄日红;黄勇	申请（专利权）人：	昆山浠吉尔自动化系统有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	215312 江苏省苏州***	国省代码：	江苏;32
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摘要：	本实用新型公开了一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架，所述机架上设置有刻蚀水槽和清洗水槽，所述机架上设置有硅片输送装置，所述硅片输送装置从刻蚀水槽和清洗水槽中穿过，其特征在于，所述机架上设置有机罩，所述机罩上设置有前视窗结构，所述前视窗结构包括侧立板、第一折叠窗体和第二折叠窗体，所述第一折叠窗体与第二折叠窗体铰接，所述立板安装在所述机架上，所述立板设置有斜向后延伸的弧形槽，所述弧形槽的下端设置有竖直向下延伸的竖槽，所述弧形槽的上端设置有收容槽，所述第二折叠窗体上设置有导向柱，所述导向柱位于所述弧形槽中，所述第一折叠窗体的后端铰接在所述机罩上。本实用新型增加了操作空间，使得设备的维护和维修操作更加方便。
搜索关键词：	一种具有新型视窗刻蚀清洗设备
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【主权项】：

一种具有新型前视窗的刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架(1)，所述机架(1)上设置有刻蚀水槽(3)和清洗水槽(5)，所述机架(1)上设置有硅片输送装置(2)，所述硅片输送装置(2)从刻蚀水槽(3)和清洗水槽(5)中穿过，其特征在于，所述机架(1)上设置有机罩(4)，所述机罩(4)上设置有前视窗结构(9)，所述前视窗结构(9)包括侧立板(93)、第一折叠窗体(91)和第二折叠窗体(92)，所述第一折叠窗体(91)与第二折叠窗体(92)铰接，所述立板(93)安装在所述机架(1)上，所述立板(93)设置有斜向后延伸的弧形槽(94)，所述弧形槽(94)的下端设置有竖直向下延伸的竖槽(97)，所述弧形槽(94)的上端设置有收容槽(96)，所述第二折叠窗体(92)上设置有导向柱(95)，所述导向柱(95)位于所述弧形槽(94)中，所述第一折叠窗体(91)的后端铰接在所述机罩(4)上。

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H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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