[发明专利]一种单片集成平衡探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种MMI输出波导与波导型探测器共下波导的单片集成平衡探测器及其制备方法。该单片集成平衡探测器包括：衬底，其左、中、右三区域分别作为MMI区域、PD区域和共面电极CPW区域；MMI输出波导，呈条状，位于衬底上的所述MMI区域；波导型探测器，呈条状，形成于衬底上PD区域的MMI与PD公用下波导芯层的上方；MMI与PD公用下波导芯层同时作为PD的下接触层，其上用于制作探测器的N电极；PD接触层上用于制作探测器的P电极；金属共面电极，其由两部分组成：接触电极部分，与波导型探测器的PD接触层和MMI与PD公用下波导芯层相连接。本发明实现了MMI与波导型探测器的集成，解决了分立的光学器件过多的耦合损耗并提高了接收机系统的稳定性。

主权项

1.一种MMI输出波导与波导型探测器共下波导的单片集成平衡探测器，其特征在于，包括：衬底(10)，其左、中、右三区域分别作为MMI区域、PD区域和共面电极CPW区域；MMI输出波导(20)，呈条状，位于衬底上的所述MMI区域，自下而上包括：MMI与PD公用下波导包层(21)，MMI与PD公用下波导芯层(22)和MMI上波导层(23)；波导型探测器(30)，呈条状，形成于衬底上PD区域的MMI与PD公用下波导芯层(22)的上方，自下而上包括：PD收集层(31)，PD带隙匹配层(32)，PD吸收层(33)，PD上盖层(34)和PD接触层(35)；其中，MMI与PD公用下波导芯层(22)同时作为PD的下接触层，其上用于制作探测器的N电极；其中，PD接触层(35)，其上用于制作探测器的P电极；金属共面电极CPW(40)，其由两部分组成：接触电极部分，与波导型探测器(30)的PD接触层(35)和MMI与PD公用下波导芯层(22)相连接；平面电极结构，其形成于衬底(10)之上或之间，其平面结构顺序由三部分组成：CPW的p电极(41)，CPW的pn电极(42)和CPW的n电极(43)；各分电极之间存在一定的间隙，互为独立金属图形；其中，制作在PD下接触层之上的N电极和制作在PD条形结构之上的P电极通过条形结构与金属共面电极相连接。