[发明专利]彩色滤光基板的制作方法有效
申请号: | 201611207637.3 | 申请日: | 2016-12-23 |
公开(公告)号: | CN108241231B | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 王菁晶;范刚洪;徐广军;张莉 | 申请(专利权)人: | 昆山仪电显示材料有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 吴圳添;吴敏 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种彩色滤光基板的制作方法,包括:提供当前基板,所述当前基板包括多个片格区,曝光设备一次曝光所覆盖到的所述片格区为一个第一区域;在一个所述第一区域内,至少一个所述片格区为非屏幕区,其它所述片格区为屏幕区;在一个所述第一区域内,在所述屏幕区形成功能结构时,同时在所述非屏幕区形成测试结构;利用所述测试结构,得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系。所述彩色滤光基板的制作方法能够更加简便和快捷地得到功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系,从而更加有效地对功能结构的实际线宽进行控制。 | ||
搜索关键词: | 彩色 滤光 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种彩色滤光基板的制作方法,其特征在于,包括:提供当前基板,所述当前基板包括多个片格区,曝光设备一次曝光所覆盖到的所述片格区为一个第一区域;在一个所述第一区域内,至少一个所述片格区为非屏幕区,其它所述片格区为屏幕区;在一个所述第一区域内,在所述屏幕区形成功能结构时,同时在所述非屏幕区形成测试结构;利用所述测试结构,得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山仪电显示材料有限公司,未经昆山仪电显示材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201611207637.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:彩色滤光基板的制作方法
- 下一篇:一种液晶显示屏结构