[发明专利]彩色滤光基板的制作方法

说明书

一种彩色滤光基板的制作方法，包括：提供当前基板，所述当前基板包括多个片格区，曝光设备一次曝光所覆盖到的所述片格区为一个第一区域；在一个所述第一区域内，至少一个所述片格区为非屏幕区，其它所述片格区为屏幕区；在一个所述第一区域内，在所述屏幕区形成功能结构时，同时在所述非屏幕区形成测试结构；利用所述测试结构，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系。所述彩色滤光基板的制作方法能够更加简便和快捷地得到功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系，从而更加有效地对功能结构的实际线宽进行控制。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种彩色滤光基板的制作方法。

背景技术

液晶显示装置因其轻便性及优良的显示性能，不仅在信息通信设备领域，而且在一般的电器设备领域实现了快速的普及。

液晶显示装置一般包含：阵列基板，阵列基板上通常具有复数个矩阵状排布的像素电极；彩色滤光基板，彩色滤光基板通常包括复数个彩色光阻；密封于阵列基板和彩色滤光基板之间的液晶。

随着液晶显示装置分辨率的提高，彩色滤光基板上各结构的线宽(通常此线宽等于工艺的关键尺寸，critical dimension，CD)越来越小，在生产过程中，要检索各结构的线宽大小是否达到要求，以及相应结构位置是否发生偏移，变得越来越困难，给彩色滤光基板的制作工艺带来很大挑战。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种彩色滤光基板的制作方法，以更好地控制彩色滤光基板中各结构的线宽。

为解决上述问题，本发明提供一种彩色滤光基板的制作方法，包括：提供当前基板，所述当前基板包括多个片格区，曝光设备一次曝光所覆盖到的所述片格区为一个第一区域；在一个所述第一区域内，至少一个所述片格区为非屏幕区，其它所述片格区为屏幕区；在一个所述第一区域内，在所述屏幕区形成功能结构时，同时在所述非屏幕区形成测试结构；利用所述测试结构，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系。

可选的，在一个所述第一区域内，在所述屏幕区形成功能结构时，同时在所述非屏幕区形成测试结构，包括：在光罩上形成功能开口图案和测试开口图案；在所述屏幕区形成功能结构材料层时，同时在所述非屏幕区形成测试结构材料层；在利用所述功能开口图案对所述功能结构材料层进行图案化，以形成所述功能结构时，同时利用所述测试开口图案对所述测试结构材料层进行图案化，以形成所述测试结构。

可选的，利用所述测试结构，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系，包括：利用放大设备放大所述测试结构；通过人眼直接观察放大后的所述测试结构；根据所述测试结构与所述测试开口图案的俯视形状变化，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系。

可选的，所述测试开口图案包括基准开口组合，所述基准开口组合包括：沿第一直线的第一方向交替出现的第一开口和第二开口，所述第一开口至少有两个；相邻的所述第一开口和所述第二开口之间有且仅有一个重合点，所述重合点落在所述第一直线上；由所述基准开口组合对所述测试结构材料层进行图案化，得到的所述测试结构包括对应于所述基准开口组合的基准块状组合，所述基准块状组合包括对应于所述第一开口的第一区块，以及对应于所述第二开口的第二区块；根据所述测试结构与所述测试开口图案的俯视形状变化，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系，包括：当所述第一区块和所述第二区块大于一个重合点时，判断所述功能结构的实际线宽大于预设线宽；当所述第一区块和所述第二区块有且仅有一个重合点时，判断所述功能结构的实际线宽等于预设线宽；当所述第一区块和所述第二区块没有重合点时，判断所述功能结构的实际线宽小于预设线宽。

可选的，所述第一开口沿所述第一直线上的跨度等于所述功能结构的预设线宽；所述第二开口沿所述第一直线上的跨度等于所述功能结构的预设线宽。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：