[发明专利]彩色滤光基板的制作方法

权利要求书

1.一种彩色滤光基板的制作方法，其特征在于，包括：

提供当前基板，所述当前基板包括多个片格区，曝光设备一次曝光所覆盖到的所述片格区为一个第一区域；

在一个所述第一区域内，至少一个所述片格区为非屏幕区，其它所述片格区为屏幕区；

在一个所述第一区域内，在所述屏幕区形成功能结构时，同时在所述非屏幕区形成测试结构，包括：在光罩上形成功能开口图案和测试开口图案；在所述屏幕区形成功能结构材料层时，同时在所述非屏幕区形成测试结构材料层；在利用所述功能开口图案对所述功能结构材料层进行图案化，以形成所述功能结构时，同时利用所述测试开口图案对所述测试结构材料层进行图案化，以形成所述测试结构；

利用所述测试结构，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系，包括：利用放大设备放大所述测试结构；通过人眼直接观察放大后的所述测试结构；根据所述测试结构与所述测试开口图案的俯视形状变化，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系；

所述测试开口图案包括基准开口组合，所述基准开口组合包括：沿第一直线的第一方向交替出现的第一开口和第二开口，所述第一开口至少有两个；相邻的所述第一开口和所述第二开口之间有且仅有一个重合点，所述重合点落在所述第一直线上；由所述基准开口组合对所述测试结构材料层进行图案化，得到的所述测试结构包括对应于所述基准开口组合的基准块状组合，所述基准块状组合包括对应于所述第一开口的第一区块，以及对应于所述第二开口的第二区块；

根据所述测试结构与所述测试开口图案的俯视形状变化，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系，包括：当所述第一区块和所述第二区块大于一个重合点时，判断所述功能结构的实际线宽大于预设线宽；当所述第一区块和所述第二区块有且仅有一个重合点时，判断所述功能结构的实际线宽等于预设线宽；当所述第一区块和所述第二区块没有重合点时，判断所述功能结构的实际线宽小于预设线宽。

2.如权利要求1所述的彩色滤光基板的制作方法，其特征在于，所述第一开口沿所述第一直线上的跨度等于所述功能结构的预设线宽；所述第二开口沿所述第一直线上的跨度等于所述功能结构的预设线宽。

3.如权利要求2所述的彩色滤光基板的制作方法，其特征在于，所述第一开口和所述第二开口的俯视形状均为长方形；所述第一开口和所述第二开口各有一条侧边落在所述第一直线上；所述第一开口和所述第二开口的个数均为三个。

4.如权利要求1所述的彩色滤光基板的制作方法，其特征在于，当判断出所述功能结构的实际线宽与预设线宽相比是增大或者是减小时，通过对所述放大设备所显示的所述测试结构进行测量，得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的差值大小。

5.如权利要求1所述的彩色滤光基板的制作方法，其特征在于，所述测试开口图案还包括N个扩大开口组合和N个缩小开口组合，N为1至20之间的任意整数；

第N个扩大开口组合由所述基准开口组合的以下变换得到：各个所述第一开口和所述第二开口在所述第一直线上的跨度均增加N×Mμm，一个所述第一开口与一个相邻所述第二开口之间在所述第一直线上的重合跨度等于0.5N×Mμm；

第N个缩小开口组合由所述基准开口组合的以下变换得到：各个所述第一开口和所述第二开口在所述第一直线上的跨度均减小N×Mμm，一个所述第一开口与一个相邻所述第二开口之间在所述第一直线上的相距距离等于0.5N×Mμm；

M为0.1～2.0之间的一位小数；

所述测试结构还包括对应于N个扩大开口组合的N个扩大块状组合，以及对应于N个缩小开口组合的N个缩小块状组合。

6.如权利要求5所述的彩色滤光基板的制作方法，其特征在于，N等于2，M 等于0.5。