[发明专利]具有自绝缘单元的电子结构元件有效
| 申请号： | 201611201539.9 | 申请日： | 2016-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN106531695B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | S·施魏格尔;J·肯特纳 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/10 | 分类号： | H01L23/10;H01L21/762 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于电子结构元件(200)的有缺陷单元(210)的绝缘的方法，该方法具有以下步骤：在半导体衬底(280)上产生(100)单元(210)；在所述单元(210)与至少两个连接端(220，230)之间产生(110)电连接；将聚合物层施加(120)到所述电子结构元件(200)上；将测量电压施加(150)到所述至少两个连接端(220，230)上，使得在有缺陷单元(210)中由于在所述有缺陷单元(210)的区域中的聚合物层的分解使所述电连接中的至少一个露出；选择性地蚀刻(160)所露出的电连接；移除(170)所述聚合物层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 绝缘 单元 电子 结构 元件 | ||
【主权项】：
一种用于电子结构元件(200)的有缺陷单元(210)的绝缘的方法，该方法具有以下步骤：在半导体衬底(280)上产生(100)单元(210)；在所述单元(210)与至少两个连接端(220，230)之间产生(110)电连接；将聚合物层施加(120)到所述电子结构元件(200)上；将测量电压施加(150)到所述至少两个连接端(220，230)上，使得在单元(210)有缺陷的情况下通过所述有缺陷单元(210)的区域中的聚合物层的分解使所述电连接中的至少一个露出；选择性地蚀刻(160)所露出的电连接；移除(170)所述聚合物层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611201539.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
