[发明专利]镍靶材制作方法有效
| 申请号： | 201611186151.6 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108203806B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/10;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种镍靶材的制作方法，包括：形成镍板；对所述镍板进行抛光；对抛光后的镍板进行离心研磨，制作成镍靶材。由于金属镍具有良好的机械强度，承受外力作用时，抵抗变形和断裂的能力较强，因此适宜采用抛光、研磨等加工方式。通过抛光的方式可以有效去除镍板表面的氧化物及其杂质，接着通过离心研磨的方式进一步去除镍板表面的杂质，通过抛光结合离心研磨的方式有效的提高了镍靶材的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 镍靶材 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种镍靶材的制作方法，其特征在于，包括：形成镍板；对所述镍板进行抛光；对抛光后的镍板进行离心研磨，制作成镍靶材。
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