[发明专利]镍靶材制作方法

说明书

一种镍靶材的制作方法，包括：形成镍板；对所述镍板进行抛光；对抛光后的镍板进行离心研磨，制作成镍靶材。由于金属镍具有良好的机械强度，承受外力作用时，抵抗变形和断裂的能力较强，因此适宜采用抛光、研磨等加工方式。通过抛光的方式可以有效去除镍板表面的氧化物及其杂质，接着通过离心研磨的方式进一步去除镍板表面的杂质，通过抛光结合离心研磨的方式有效的提高了镍靶材的洁净度。

技术领域

本发明涉及靶材制造领域，尤其涉及一种镍靶材制作方法。

背景技术

物理气相沉积(PVD，Physical Vapor Deposition)技术是半导体工业等多种行业的核心技术。它主要是利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体发生电离，利用电场加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。因此，所述靶材的纯度和洁净度至关重要。

一般制备靶材产品的方法包括：提供符合靶材性能的金属，例如高纯度镍(一般为99.99％)；对所述金属进行预热、挤压成型、粗加工和精加工等工艺，最后加工成尺寸合格的靶材产品。然而，所述挤压成型工艺、热处理等步骤容易使所述金属的洁净度降低，从而导致所形成的靶材性能下降。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种镍靶材的制作方法，以提高镍靶材的洁净度。

为解决上述问题，本发明提供一种镍靶材的制作方法，所述方法包括：形成镍板；对所述镍板进行抛光；对抛光后的镍板进行离心研磨，制作成镍靶材。

可选的，对所述镍板进行抛光之后，离心研磨之前，所述制作方法还包括：将所述镍板制作成镍方片；将所述镍方片进行酸洗；所述离心研磨的步骤中，将酸洗之后的镍方片进行离心研磨。

可选的，所述离心研磨的步骤在离心研磨机滚筒内执行；所述离心研磨的步骤包括：将所述镍方片置于离心研磨机滚筒内，所述滚筒加料小于或等于所述滚筒深度的三分之一。

可选的，所述离心研磨的步骤在离心研磨机滚筒内执行；所述离心研磨的步骤包括在所述离心研磨机滚筒中加入30ml～50ml的研磨剂。

可选的，所述离心研磨的转速为180转/分钟～200转/分钟，所述离心研磨时间为10分钟～20分钟。

可选的，进行所述离心研磨之后，对所述镍方片进行干燥。

可选的，所述干燥的步骤包括：将离心研磨后的所述镍方片过筛滤干，将过筛滤干后的所述镍方片采用气枪吹干。

可选的，所述酸洗的步骤包括：将所述镍方片放入航空煤油中，进行第一清洗；将第一清洗后的所述镍方片移至异丙醇溶液中，进行第二清洗；将第二清洗后的所述镍方片移至酸液中，进行第三清洗；将第三清洗后的所述镍方片置于纯水中进行纯水清洗；将纯水清洗后的所述镍方片进行干燥处理。

可选的，在进行所述酸洗的步骤中，将所述镍方片放置在滚筒中进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述第三清洗；进行所述第一清洗及第二清洗的步骤中，使所述滚筒保持静止；进行所述第三清洗的步骤中，使所述滚筒保持滚动。

可选的，在进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述纯水清洗的步骤中，对所述镍方片进行超声波振荡。

可选的，在所述第一清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为10分钟～20分钟；在所述第二清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～15分钟；在所述纯水清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～10分钟。

可选的，所述酸液为硝酸溶液，其中硝酸质量比为15％～20％；酸洗时间为3分钟～5分钟。

可选的，形成所述镍板的步骤包括：提供铸态镍；对所述铸态镍进行锻打；对锻打后的所述铸态镍进行铣加工，制作成镍锭；对所述镍锭进行压延，制作成镍板。