[发明专利]镍靶材制作方法

权利要求书

1.一种镍靶材的制作方法，其特征在于，包括：

形成镍板；

对所述镍板进行抛光；

对抛光后的镍板进行离心研磨，制作成镍靶材；所述离心研磨的步骤在离心研磨机滚筒内执行；所述离心研磨的步骤包括在所述离心研磨机滚筒中加入30ml～50ml的研磨剂；所述离心研磨的转速为180转/分钟～200转/分钟，所述离心研磨时间为10分钟～20分钟；

对所述镍板进行抛光之后，离心研磨之前，所述制作方法还包括：将所述镍板制作成镍方片；将所述镍方片进行酸洗；所述离心研磨的步骤中，将酸洗之后的镍方片进行离心研磨；

所述酸洗的步骤包括：

将所述镍方片放入航空煤油中，进行第一清洗；

将第一清洗后的所述镍方片移至异丙醇溶液中，进行第二清洗；

将第二清洗后的所述镍方片移至酸液中，进行第三清洗；所述酸液为硝酸溶液，其中硝酸质量比为15％～20％；酸洗时间为3分钟～5分钟；

将第三清洗后的所述镍方片置于纯水中进行纯水清洗；

将纯水清洗后的所述镍方片进行干燥处理。

2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述离心研磨的步骤在离心研磨机滚筒内执行；所述离心研磨的步骤包括：将所述镍方片置于离心研磨机滚筒内，所述滚筒加料小于或等于所述滚筒深度的三分之一。

3.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，进行所述离心研磨之后，对所述镍方片进行干燥。

4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述干燥的步骤包括：将离心研磨后的所述镍方片过筛滤干，将过筛滤干后的所述镍方片采用气枪吹干。

5.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在进行所述酸洗的步骤中，将所述镍方片放置在滚筒中进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述第三清洗；进行所述第一清洗及第二清洗的步骤中，使所述滚筒保持静止；进行所述第三清洗的步骤中，使所述滚筒保持滚动。

6.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述纯水清洗的步骤中，对所述镍方片进行超声波振荡。

7.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，在所述第一清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为10分钟～20分钟；在所述第二清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～15分钟；在所述纯水清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～10分钟。

8.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成所述镍板的步骤包括：提供铸态镍；

对所述铸态镍进行锻打；

对锻打后的所述铸态镍进行铣加工，制作成镍锭；

对所述镍锭进行压延，制作成镍板。

9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述锻打的步骤包括：

对所述铸态镍进行锻打预热；

对预热后的铸态镍进行锻打成型；

将锻打成型后的铸态镍进行冷却处理。

10.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述锻打预热的预定温度范围在850摄氏度～950摄氏度。

11.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述锻打变形量在30％～60％之间。

12.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述冷却处理的步骤包括将所述铸态镍锻打成型后2分钟之内放置于常温水中冷却。

13.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述压延的步骤包括：

对所述镍锭进行粗轧，制作成粗轧镍板；

将粗轧镍板进行退火热处理并进行冷却；

将所述粗轧镍板进行分切；

将分切后的粗轧铝板进行精轧，制作成所述镍板。