[发明专利]在经调节压力下使用氦的高温工艺改进在审
| 申请号： | 201611138038.0 | 申请日： | 2010-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN106948004A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 弗雷德里克·施密德;大卫·B·乔伊斯;约翰·布罗莱特;丹尼尔·P·贝迪;莱安·费尔伯特 | 申请（专利权）人： | GTAT公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B11/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 刘慧,杨青 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了在经调节压力下使用氦的高温工艺改进。具体地，本发明涉及一种用于在用于处理材料诸如生长晶体的真空熔炉中减少多余的辅助反应的方法。该工艺在熔炉腔室环境中执行，其中容许氦气以用于冲除杂质的流率并且以用于在热区中实现热稳定性的预定压力进入熔炉腔室，以减小热流变化并且减小热区中的温度梯度。在冷却期间，使用氦压力来降低热梯度从而增加冷却速率。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 压力 使用 高温 工艺 改进 | ||
【主权项】：
生产蓝宝石结晶材料的方法，所述方法包括以下步骤：a)装载具有熔体原料的坩埚；b)将熔炉的热区抽空至操作压力值；c)加热熔炉的热区以至少部分地熔化熔体原料；d)进一步将熔炉的热区加热至最大温度以完全地熔化熔体原料；e)通过冷却热区而从完全熔化的熔体原料生长蓝宝石结晶材料；和f)从熔炉移除蓝宝石结晶材料，其中，在步骤e)之前，该方法进一步包括以下步骤：建立至少一种非反应性气体进入熔炉的热区中的流率，随后建立在熔炉的热区中的该至少一种非反应性气体的反应压力高于操作压力值，以及其中，在蓝宝石结晶生长期间对于辅助反应建立依赖于反应蒸气压力的反应压力。
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