[发明专利]EFEM中的晶圆搬运部及装载端口部的控制方法

摘要

本发明提供一种EFEM中的晶圆搬运部及装载端口部的控制方法，其具有：将容器固定于所述装载端口部的载置台的工序；在关闭了主开口的状态下，在载置于所述载置台上的所述容器的底面上所形成的多个底孔连接所述装载端口部的底部嘴，经由所述底部嘴向所述容器的内部进行清洁化气体的导入及气体从所述容器的排出的第一清洁化工序；停止清洁化气体从所述底部嘴的导入，开放所述主开口，并将所述容器和所述晶圆搬运室气密地连接的连接工序；从所述容器通过开放的所述主开口及所述晶圆搬运室将所述晶圆搬运至所述处理室，从所述处理室通过所述晶圆搬运室及开放的所述主开口将所述晶圆搬运至所述容器的晶圆搬运工序。

主权项

一种控制方法，其特征在于，是EFEM中的晶圆搬运部及装载端口部的控制方法，所述EFEM具有：晶圆搬运部，其具有向处理室搬运的晶圆所通过的晶圆搬运室；装载端口部，其将形成于收纳所述晶圆的容器的主开口与所述晶圆搬运室气密地连接，所述控制方法具有：将所述容器固定于所述装载端口部的载置台的工序；在关闭了所述主开口的状态下，在载置于所述载置台上的所述容器的底面上所形成的多个底孔连接所述装载端口部的底部嘴，并经由所述底部嘴向所述容器的内部进行清洁化气体的导入及气体从所述容器的排出的第一清洁化工序；停止清洁化气体从所述底部嘴的导入，开放所述主开口，并将所述容器和所述晶圆搬运室气密地连接的连接工序；从所述容器通过开放的所述主开口及所述晶圆搬运室将所述晶圆搬运至所述处理室，并从所述处理室通过所述晶圆搬运室及开放的所述主开口将所述晶圆搬运至所述容器的晶圆搬运工序。