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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]EFEM中的晶圆搬运部及装载端口部的控制方法-CN201611127710.6有效
发明人：冈部勉;堀部秀敏 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种EFEM中的晶圆搬运部及装载端口部的控制方法，其具有：将容器固定于所述装载端口部的载置台的工序；在关闭了主开口的状态下，在载置于所述载置台上的所述容器的底面上所形成的多个底孔连接所述装载端口部的底部嘴，经由所述底部嘴向所述容器的内部进行清洁化气体的导入及气体从所述容器的排出的第一清洁化工序；停止清洁化气体从所述底部嘴的导入，开放所述主开口，并将所述容器和所述晶圆搬运室气密地连接的连接工序；从所述容器通过开放的所述主开口及所述晶圆搬运室将所述晶圆搬运至所述处理室，从所述处理室通过所述晶圆搬运室及开放的所述主开口将所述晶圆搬运至所述容器的晶圆搬运工序。
efem 中的搬运装载端口控制方法

[发明专利]设备前端模块-CN201611129317.0有效
发明人：冈部勉;堀部秀敏 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种EFEM，其具有：晶圆搬运部，其具有向处理室搬运的晶圆通过的晶圆搬运室；装载端口部，其将形成于收纳所述晶圆的容器的主开口与所述晶圆搬运室气密地连接。所述晶圆搬运部具有：下降气流形成单元、和以下降气流的一部分经由所述主开口流入与所述晶圆搬运室连接的所述容器的方式进行导向的整流板。所述装载端口部具有：底部嘴，其与在所述容器的底面中相较于底面中央距所述主开口更远的位置形成的底孔可连通；气体排出流路，其可以经由所述底部嘴将所述容器的内部的气体排出到所述容器的外部。
设备前端模块

[发明专利]微环境装置-CN201611150044.8有效
发明人：冈部勉;堀部秀敏 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2016-12-14 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种微环境装置，具有：晶圆搬运机，搬运晶圆；被搬运到处理室的所述晶圆进行通过的晶圆搬运室，设置有所述晶圆搬运机；循环流路，所述晶圆搬运室内的气体在所述晶圆搬运室迂回并流动；送风单元，形成在所述晶圆搬运室下降，在所述循环流路上升的循环气流；整流部件，设置于所述晶圆搬运室的顶板部，将所述循环气流层流化而流入所述晶圆搬运室；颗粒除去过滤器，设置于所述晶圆搬运室的所述顶板部或所述循环流路；化学过滤器，与所述颗粒除去过滤器分开地装卸自如地设置于所述循环流路。所述化学过滤器被设置为比所述晶圆搬运室中所述晶圆能够通过的最低的位置低的高度。
环境装置

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共 3 条

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